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確実にそして現実的にダイヤモンドからのデザインマイクロ装置そしてセンサー

Published on February 3, 2010 at 6:09 PM

高度のダイヤモンドの技術は (ADT)使用できるダイヤモンドから確実ににエンジニアおよび製品の開発者をそして現実的にデザインマイクロ装置およびセンサー可能にする腐食の調理法を広く作っています。

真空科学及び技術 B の同業者審査されたジャーナルの 11 月/12 月 2009 日問題で出版される研究に基づく (JVST B)、腐食の調理法は http://www.thindiamond.com で ADT のウェブサイトからのダウンロードのために使用できます。 ほとんどの鋳物場、この乾燥した腐食の調理法で使用できる標準プロセスを使用して従来ダイヤモンドと関連付けられる複雑さを除去している間デザイナーが最先端のダイヤモンドマイクロ装置およびセンサーを発達させることを可能にします。

「ダイヤモンドを使用できるように、アクセス可能、および現実的にさせるプロセスは完全です。 私達はこの調理法を出版しました従ってダイヤモンドは使用される同じ装置および材料を使用してプロセスフローにケイ素を処理するのに組み込むことができます。 私達は除去しました危険およびダイヤモンドの装置および私達を作る方法ミステリーのデザイナーの創造性そして工夫をそれらを処理ステップを心配してもらうことなしでダイヤモンド装置を作るように刺激することを望んで下さい」 ADT の大統領を言いましたネイル Kane。

鋭いダイヤモンドを作成している間 E ビーム石版印刷による鋭いダイヤモンドの先端の記事、 「Nanofabrication および帰納的につながれた血しょう反応イオン・エッチングは原子力の顕微鏡検査のプローブのために」、開発される腐食の調理法をひっくり返ます (AFM)記述します。 乾燥した腐食の調理法は ADT の UNCD® のウエファーを使用して 650 nm/min の最大腐食のレートを達成するために最適化されました。 敏感な nano 構造を開発するために適当であるより遅い腐食のレートを達成するパラメータはまた輪郭を描かれます。 堅いマスク、 nm 厚く血しょう高められた化学蒸気によって沈殿させる SiOx の層 350 作成し、また模造するためのプロセスステップは、詳しく述べられます。

浄水のための水、 LED の照明およびほう素添加されたダイヤモンドの電極のエシェリヒア属大腸菌を検出するために 「AFM が厳密に調べると多様に私達に段階的に行なアレイレーダー、バイオセンサーのためにダイヤモンドの製品をさせるのに私達の UNCD のウエファーを使用している顧客が、切替えますあります。 簡単な、最適化された腐食の調理法はダイヤモンドの採用を非常に簡単にします」、 ADT のジョンカーライル主な鑑定官の先生を言います。 「第 2 の全生成および 3D ダイヤモンドの構造は高性能 RF MEMS 装置のような今考えられ、加速度計」、 ADT の JVST B の記事の MEMS の鉛の科学者そして主執筆者、 Nicolaie Moldovan 先生を言いました。

最適化された乾燥した腐食の機能の開発は 2009 R&D100 賞獲得の NaDiaProbes® の開始材料として UNCD のウエファーを使用して作成される世界の最初全ダイヤモンド AFM のプローブを進める ADT の進行中の研究の一部分です。 NaDiaProbes は片持梁に取付けられるダイヤモンドのダイヤモンド上塗を施してないプローブまたは部分ではないです; むしろ全体の片持梁および先端アセンブリは UNCD の nanocrystalline のダイヤモンドの薄膜形式から成っています。

ADT は感謝して JVST B の記事の共著者である Argonne の国立研究所 (Argonne) との継続共同を認めます。 NaDiaProbes は全米科学財団の SBIR/STTR プログラムからの許可と開発されました。

Argonne、 ADT で開発される ultrananocrystalline のダイヤモンドの技術を商業化するために形作られてダイヤモンドのパテントのポートフォリオへ排他的な特許権者です。 ADT は、材料の EuroAsia 2008 年の IC 賞の受信者であり EuroAsia の半導体マガジンからのカテゴリを先駆的、世界経済フォーラムの 2007 年技術流動ポンプの機械シールの表面のための 2008 年の R & D 100 賞の勝者可能にします、 2009 年の R & D は 100 NaDiaProbes のための勝者を与えます。

Last Update: 13. January 2012 04:24

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