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ASML para entregar TWINSCAN NXE: 3100 sistema de litografia EUV a TSMC

Published on February 22, 2010 at 1:45 AM

ASML Holding NV (ASML) anunciou hoje que Taiwan Semiconductor Manufacturing Company (TWSE: 2330, NYSE: TSM) terá a entrega de um NXE TWINSCAN: 3100 extremo ultra-violeta sistema de litografia (EUV). Esta ferramenta representa um dos seis NXE: 3100 sistemas de EUV para parceiros em todo o mundo ASML e clientes.

TSMC deve ser a primeira fundição dedicada a realização no local de desenvolvimento EUV e instalar o novo sistema em sua Fab 12 GigaFab ™ para desenvolvimento de nós de tecnologia do futuro.

EUV tecnologia emprega um comprimento de onda muito mais curto e tem o potencial de reduzir os custos associados com as técnicas atuais utilizadas para esticar 193 nm-litografia de imersão, tornando-se uma tecnologia promissora para a fabricação de litografia de IC para futuro nós de tecnologia avançada. TSMC está avaliando tecnologias de litografia EUV e outros por seu potencial para otimizar a relação custo-benefício de fabricação em nós de tecnologia no futuro.

"TSMC usará um NXE TWINSCAN: 3100 para pesquisa e desenvolvimento de futuros nós de tecnologia avançada", disse Dr. Shang-yi Chiang, TSMC Vice-Presidente Sênior de Pesquisa e Desenvolvimento. "EUV é uma das tecnologias da próxima geração de litografia que estamos investigando. Trabalhando com este sistema está em linha com nosso objetivo de manter a liderança de tecnologia avançada. Ao mesmo tempo, este acordo reforça o nosso compromisso histórico de investir na comunidade de semicondutores inovadores europeus que , através ASML e outros, irá desempenhar um papel central em nosso desenvolvimento tecnologia de processo no futuro. "

"Com um NXE: 3100 para a TSMC, ASML agora está fornecendo sistemas de EUV a todos os principais segmentos do chip que faz a indústria: Lógica, DRAM e NAND de memória flash, e Foundry", disse Martin van den Brink, presidente ASML vice-presidente executivo e principal produto e diretor de tecnologia. "Estamos ansiosos para continuar nosso longo relacionamento com a TSMC, proporcionando-lhes a melhor tecnologia possível para fazer os chips de amanhã."

Fonte: http://www.tsmc.com/

Last Update: 14. October 2011 05:00

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