Posted in | Nanofabrication

Applied Materials пройдет семинар по экономически эффективные технологии литографии

Published on February 23, 2010 at 4:54 AM

Текущий оптической литографии для устройств структурирование полупроводниковых быстро достигают своего предела. Хотя иммерсионной литографии с двойным структурирование, кажется, продолжается до 19nm для устройства флэш-памяти и, возможно, к 15nm конструкций логики, EUV-литография рассматривается в качестве наиболее вероятного преемника.

Тем не менее, очень важно, что EUV-литографии и связанные с ним процессы производства готовы к этому значительное изменение - в состоянии достичь приемлемого уровня производительности и доходности. 24 февраля, Applied Materials пройдет углубленный семинар для изучения методов, которые будут необходимы для экономически эффективных передовых масштабирования.

Под названием "Высокая производительность технологии литографии Следующее поколение" форума примут участие эксперты из логики и литейного производителей, научно-исследовательских консорциумов и оборудования сектора. Во время полного рабочего дня технической презентации на Сент Клер Отель в Сан-Хосе, штат Калифорния, ораторы представят последние достижения в маске и вафельные рисунка, инспекции и метрологии, которые являются повышение точности как процесс и производительность.

Докладчики: Час Арчи - старший физик, IBM
Бен Bunday - старший член технического персонала, SEMATECH
Джо Finders - научный сотрудник, ASML
Тед Лян - старший инженер штаба, Intel
Ханс аист - главный директор по технологиям Силиконовой Systems Group, Applied Materials

Оберт Древесина - главный член технического персонала, GLOBALFOUNDRIES

Где: Сент Клер Hotel,
S 302 Market Street, San Jose, CA 95113

Когда: Среда, 24 Февраль 2010

График работы: 9:00 утра-9: 30am Регистрация
9:30 утра-4: 30pm Программа семинара
4:30 вечера-6: 30pm прием

Источник: http://www.appliedmaterials.com/

Last Update: 3. October 2011 14:53

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit