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एप्लाइड मैटेरियल्स उप 32nm तर्क उपकरणों के लिए नई प्री - साफ़ चैंबर की शुरूआत

Published on March 30, 2010 at 2:40 AM

एप्लाइड मैटेरियल्स, Inc आज अर्धचालक उद्योग की पहली एकीकृत कम epitaxial (महामारी) अनुप्रयोगों जो बाजार की अग्रणी एप्लाइड Centura ® आरपी महामारी सिस्टम पर उपलब्ध है के लिए पूर्व स्वच्छ तापमान की घोषणा की.

एप्लाइड अर्धचालक उद्योग की पहली एकीकृत महामारी अनुप्रयोगों के लिए अपनी एप्लाइड Centura आरपी महामारी प्रणाली के लिए कम तापमान पूर्व स्वच्छ की शुरुआत की.

नई पूर्व स्वच्छ कक्ष, जो एप्लाइड साबित Siconi ™ प्रौद्योगिकी सुविधाएँ महत्वपूर्ण प्रक्रिया स्केलिंग संवेदनशील, उप 32nm तर्क उपकरणों में तनाव इंजीनियर सुविधाओं के लिए आवश्यक प्रदर्शन बचाता है. इसके अलावा, के बाद से पूर्व साफ और महामारी प्रक्रियाओं एक ही वैक्यूम मंच पर एकीकृत कर रहे हैं, कतार समय और समाप्त interfacial संदूषण खड़े अकेले सिस्टम पर परिमाण के एक आदेश से अधिक से कम है, दोष मुक्त महामारी के लिए प्राचीन सिलिकॉन सतहों बनाने क्रिस्टल विकास.

परम्परागत पूर्व स्वच्छ प्रौद्योगिकी एक गीला एक 800 डिग्री सेल्सियस सेंकना द्वारा पीछा साफ की आवश्यकता है. उन्नत 32nm और नीचे उपकरणों में, आक्रामक गीला स्वच्छ सर्किट संरचनाओं इरोड, जबकि उच्च तापमान सेंकना काफी मौजूदा तनाव के स्तर को कमजोर कर सकते हैं कर सकते हैं. इसके विपरीत, कम से कम 130 डिग्री सेल्सियस पर Siconi है प्रौद्योगिकी का पेटेंट कराया सफाई प्लाज्मा आधारित रसायन शास्त्र कोमल, अभी तक अत्यधिक प्रभावी, ऑक्साइड हटाने प्रदान करता है, इष्टतम तनाव को बनाए रखने और नाजुक सुविधाओं के संरक्षण.

"एप्लाइड लगातार नए, अभिनव क्षमताओं के साथ प्रौद्योगिकी के विस्तार के द्वारा महामारी बयान में लम्बे समय से नेतृत्व का निर्माण किया है," स्टीव Ghanayem, उपाध्यक्ष और एप्लाइड मोर्चे की समाप्ति उत्पाद व्यवसाय इकाई के जनरल मैनेजर ने कहा. "अब तक, अग्रणी बढ़त chipmakers के लिए पूरी तरह से ट्रांजिस्टर गति कई महामारी परतों द्वारा प्रदान लाभ का एहसास करने में असमर्थ किया गया है. एकीकृत Siconi पूर्व - स्वच्छ इस समस्या को हल करती है, ग्राहकों को अपने उच्चतम प्रदर्शन उपकरणों fabricating के लिए तनाव इंजीनियरिंग का पूरा लाभ प्राप्त करने के लिए सक्षम करने से. "

ऊर्जा दक्षता के लिए डिजाइन, एकीकृत Siconi प्रक्रिया काफी बिजली और पानी की खपत कम कर देता है. एक उच्च तापमान सेंकना के लिए नष्ट करने की जरूरत है, Siconi पूर्व - स्वच्छ सीओ 2 उत्सर्जन की सालाना ऊर्जा या 40.000 पाउंड के 36,000 से अधिक kWh का बराबर बचा सकता है.

एकीकृत Siconi पूर्व स्वच्छ प्रौद्योगिकी उत्साहपूर्वक किया गया है chipmakers द्वारा प्राप्त और एकाधिक डिवाइस दुनिया भर में निर्माताओं में उपयोग में है. Centura आरपी महामारी सिस्टम के स्थापित आधार उन्नयन लागत प्रभावी पैकेज के माध्यम से Siconi प्रौद्योगिकी के साथ उन्नत किया जा सकता है.

स्रोत: http://www.appliedmaterials.com

Last Update: 3. October 2011 02:52

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