Posted in | Nanoelectronics

אפלייד מטיריאלס משיקה לשכת ניו טרום Clean עבור Sub-32nm התקני לוגיקה

Published on March 30, 2010 at 2:40 AM

אפלייד מטריאלס, Inc הודיעה היום בטמפרטורה נמוכה הראשון בתעשיית המוליכים למחצה משולבים מראש נקי (EPI) יישומים epitaxial אשר זמין המובילים בשוק יישומי המערכת שלו Centura ® Epi RP.

אפלייד לראשונה משולבת של תעשיית המוליכים למחצה בטמפרטורה נמוכה מראש נקי עבור יישומים EPI למערכת יישומי שלה Centura Epi RP.

חדר החדשות טרום נקי, אילו תכונות Siconi מוכח של יישומי טכנולוגיית ™, מספק את הביצועים הדרושים תהליך קריטי דרוג רגיש, זן מהונדסים תכונות משנה 32nm התקני ההיגיון. בנוסף, מאז תהליכי טרום נקי EPI משולבים על פלטפורמה זהה ואקום, הפעם תור מסולק וזיהום interfacial הוא מופחת על ידי יותר סדר גודל מעל עצמאי מערכות, יצירת משטחים סיליקון טהור עבור פגם חינם EPI קריסטל הצמיחה.

הטכנולוגיה המקובלת מראש נקי דורש נקי רטוב ואחריו 800 מעלות ואופים. בשנת התקנים 32nm ומטה מתקדמות, נקי רטוב אגרסיבית יכולה לשחוק מבנים מעגל, בעוד ואופים בטמפרטורה גבוהה יכול להחליש באופן משמעותי את רמות המתח הקיים. לעומת זאת, פלזמה מבוססי כימיה פטנט על הטכנולוגיה של Siconi מספק ניקוי עדין, אך יעיל מאוד, הסרת תחמוצת פחות מ 130 ° C, שמירה על מתח אופטימלית ושמירה על תווי הפנים העדינים.

"יישומי בנתה מנהיגות ארוכת השנים שלה בתצהיר EPI ברציפות על ידי הרחבת הטכנולוגיה עם יכולות חדשניות", אמר סטיב Ghanayem, סגן נשיא ומנהל כללי של יחידת החזית של יישומי קצה עסקיים מוצרים. "עד עכשיו, החדשנית chipmakers לא הצליחו להבין במלואו את מהירות הטרנזיסטור רווחים הניתנים על ידי מספר רב של שכבות EPI. Siconi משולב מראש נקי פותר בעיה זו, ומאפשרת ללקוחות להפיק את מלוא התועלת של הנדסה זן בודה הגבוהה המכשירים שלהם על הביצועים. "

עוצב עבור יעילות אנרגיה, תהליך Siconi משולב מפחית באופן משמעותי בחשמל צריכת המים. על ידי ביטול הצורך בטמפרטורה גבוהה לאפות, לנקות Siconi מראש יכול לחסוך את המקבילה של קוט"ש מעל 36,000 ק"ג של אנרגיה או 40,000 של פליטת CO2 מדי שנה.

משולב Siconi מראש נקי טכנולוגיה התקבל בהתלהבות על ידי chipmakers והוא בשימוש יצרני התקנים מרובים ברחבי העולם. הבסיס מותקן של Centura מערכות RP Epi ניתן לשדרג את הטכנולוגיה Siconi באמצעות חבילה חסכונית שדרוג.

מקור: http://www.appliedmaterials.com

Last Update: 5. October 2011 01:06

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit