Site Sponsors
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
  • Technical Sales Solutions - 5% off any SEM, TEM, FIB or Dual Beam
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions

There is 1 related live offer.

5% Off SEM, TEM, FIB or Dual Beam

AIXTRON tilaus Black Magic Deposition System Purdue yliopiston Birck Nanoteknologian keskus

Published on March 30, 2010 at 3:11 AM

AIXTRON AG ilmoitti tänään, jotta yhden Black Magic laskeuman järjestelmän Purdue yliopiston Birck Nanoteknologia Center West Lafayette, IN, USA. Tilaus on 2 tuuman kiekkojen kokoonpano järjestelmä laskeuman hiilen nanomateriaalien ja high-k oksidit by Atomic Layer Deposition (ALD). Tilaus saatiin vuoden 2009 viimeisellä neljänneksellä ja järjestelmä toimitetaan vuoden 2010 toisella neljänneksellä.

Tunnustaen samalla armeijan tutkimuksen toimisto tukea tämän hankkeen kautta Yhdysvaltain puolustusministeriön DURIP ohjelma, apulaisprofessori Peide Ye on Purduen yliopistossa kommentit, "Black Magic CVD / PECVD alusta on elintärkeä jatkuvasti kehittynyt CMOS laitteen ominaisuuksien tutkimushankkeita. Tämä ensimmäinen-of-a-kind dual-kokoonpanon CVD-järjestelmä antaa meille mahdollisuuden paitsi toteuttaa CNT ja grafeeni laskeuman myös laatia high-k oksideja by ALD in-situ. Ottaa tämä ainutlaatuinen ominaisuus on Birck tarkoittaa, että voimme optimoida hiili / oksidi-materiaaleja seuraavan sukupolven laite kanavia. Etuna valmistelee oksidi in-situ heti kanavan kasvun että se mahdollisesti eliminoi kontaminaation ja loukkuun maksutta johtavan puhtaampiin kanava / oksidi käyttöliittymät ja paremman laitteen suorituskykyä. "

Avattiin heinäkuussa 2005 58000000dollari, 187000 neliömetrin, Birck Nanoteknologia Center sisältää 25000 neliömetrin Class 1-10-100 nanoteknologiakeskus puhdastilan - Scifres nanoteknologiakeskus Laboratory. Laitos on monia huippu-ominaisuuksia, kuten erityinen tärinää huoneet nanorakenteiden tutkimukseen tarkat lämpötilan ja ympäristön valvonnassa. Keskus sijaitsee myös muita laboratoriot nanofotoniikan, kiteenkasvatus, molekyylielektronisten, MEMS ja Nems, pinta-analytiikka, SEM / TEM ja sähköiset ominaisuudet. Lisäksi se on ainutlaatuinen nanoteknologian hautomo järjestely vuorovaikutuksen ja teknologian siirtämiseksi korkeakoulujen ja teollisuuden.

Dr. Rainer Beccard, Vice President Marketing AIXTRON, lisäkommentteja. "Vaikka tutkimus on edennyt kohti Mooren lain kanssa mahdollisuutta ottaa käyttöön III-V materiaalien laite kanavan materiaali, muu kanava materiaalit perustuu hiilen lisäksi nyt tutkitaan tulevaisuuden vaihtoehtoja. AIXTRON n 300mm-kiekko mittakaavan MOCVD laitteita on jo käytetty klo muihin paikkoihin III-V kanava materiaaleja. Ainutlaatuisen täytäntöönpanoa snt / grafeenin / ALD valmiudet Purdue, tutkijat voivat myös tutustua haasteisiin integroimalla hiilen nanomateriaalien laitteen kanava. "

Last Update: 3. October 2011 21:56

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit