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AIXTRON는 퍼듀 대학교의 Birck 나노 과학 센터에서 불랙 매직 공술서 시스템을 위한 명령을 수신합니다

Published on March 30, 2010 at 3:11 AM

AIXTRON AG 오늘 서쪽 Lafayette에 있는 퍼듀 대학교의 Birck 나노 과학 센터에서 1개의 불랙 매직 공술서 시스템을 위한 명령을, 안으로, 미국 알렸습니다. 명령은 원자 층 공술서에 의하여 탄소 nanomaterials와 높은 k 산화물의 공술서를 위한 2 인치 웨이퍼 윤곽 시스템을 위해 입니다 (ALD). 명령은 2009년의 4분기에서 수신되고 시스템은 2010년의 2학기에서 전달될 것입니다.

이 계획사업의 지원을 위한 육군 연구 사무실을 DURIP 프로그램 미국 국방부를 통해 인정하고 있는 동안, Peide Ye 퍼듀 대학교의 부교수가 논평하는, "불랙 매직 CVD/PECVD 플래트홈은 우리의 전진하는 향상된 CMOS 장치 특성 연구 계획에 생명 입니다. 이 첫번째 의 친절한 이중 윤곽 CVD 시스템은 뿐만 아니라 저희가 CNT와 graphene 공술서를 실행하고는 또한 ALD에 의하여 높은 k 산화물을 제자리의 준비하는 것을 허용할 것입니다. Birck에 이 유일한 기능이 의미합니다 우리가 차세대 장치 채널 통신로를 위한 탄소/산화물 기지를 둔 물자를 낙관할 수 있을 것이라는 점을 있는 것은. 채널 통신로 성장이 잠재적으로 오염과 덫을 놓은 책임을 삭제하다 인 후에 더 청결한 채널 통신로/산화물에 지도하는 산화물 직접 제자리의 준비의 이점은 조화시키고 나아집니다 장치 성과를."

, $58 백만 2005년 7월에서 여는, 스퀘어 187,000. 피트 의 Birck 나노 과학 센터는 스퀘어 25,000를 포함합니다. 피트 종류 1-10-100 nanofabrication 청정실 - Scifres Nanofabrication 실험실. 시설에는 정확한 온도와 환경 통제를 가진 nanostructure 연구를 위한 특별한 낮은 진동 룸과 같은 많은 최신식 특징이 있습니다. nanophotonics를 위한 또한 그밖 실험실이, 결정 성장, 분자 전자공학, MEMS 및 NEMS, 지상 분석, SEM/TEM 및 전기 특성 센터에 의하여 유숙합니다. 추가적으로, 그것에는 기업을 가진 상호 작용과 기술 이동을 위한 유일한 나노 과학 부화기 시설이 있습니다.

코멘트가, Rainer Beccard 박사에 의하여 Marketing AIXTRON에 부사장 발전합니다. "연구가 장치 채널 통신로 물자로 III-V 물자 소개의 가능성에 Moore의 법률 달성으로 점진하는 동안, 탄소에 근거를 둔 그밖 채널 통신로 물자는 또한 지금 미래 선택권으로 조사되고 있습니다. AIXTRON의 300mm 웨이퍼 가늠자 MOCVD 장비는 III-V 채널 통신로 물자를 위해 그밖 위치에 이미 사용되었습니다. Purdue에 CNT/graphene/ALD 기능의 유일한 실시로, 연구원은 또한 장치 채널 통신로에 있는 통합 탄소 nanomaterials의 도전을 탐구할 수 있습니다."

Last Update: 13. January 2012 04:25

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