PNNL 和 AIST 猎户星座的安排指令加上从卡尔蔡司的氦气离子显微镜

Published on March 31, 2010 at 6:46 PM

和平的西北国家实验室 (PNNL),位于 Richland,华盛顿,带领 ORION® 加上仪器进入美国能源部环境分子科学实验室作为资源。 并且,在筑波,日本,先进的行业科学技术 (AIST) 国家学院为他们新的 Nanodevice 创新研究中心选择了猎户星座加号。 这些安装在氦气离子显微学提供生长信赖的进一步证据为对材料、生命科学和半导体应用的最过分要求的研究。

其中一 EMSL 的优先级是研究矿物对矿物和矿物对微生物细丝。 此猎户星座图象显示贯穿多孔硅的矿物细丝。 即使遭受充电未上漆,绝缘的范例,当印象由扫描电子显微镜 (SEM),氦气离子显微镜导致了优越解决方法图象没有充电的问题。

PNNL 成为获取蔡司的第一个美国国家实验室猎户星座加上氦气离子显微镜。 一能源部十个国家实验室,管理由科学母鹿的办公室, PNNL 为研究员提供科学发现的一个开放,合作环境环球。 “我们是非常兴奋的添加氦气离子显微镜到前进科学仪表我们的兵工厂”, Shuttha Shutthanadan,环境分子科学实验室的, (EMSL)国家科学用户设备科学家说位于 PNNL。 “基本上,氦气离子显微学改进我们的远见在 nanoscale,允许我们看我们不可能以前发现的事物。 得以进入对提供世界记录空间分辨率想象、正高图象对比和大景深的仪器的将使我们的用户加速他们的创新”。

或许 Weilin 江, EMSL 科学家,补充说, “一个氦气离子显微学的最巨大的好处明显地是能力图象未上漆的绝缘材料”。 这避免费时,解决方法减少的实践涂上范例处理其充电。 工具预定于发运在 3月今年底。

在有名望的 AIST 在筑波,日本,他们新的猎户星座正式采纳加上显微镜在 2月 8日完成了今年。 AIST 系统装备以所有可用的选项,包括最近被开发的光谱探测器。 一个最近被设计的气体注射系统短期将被添加。 “安装和接受完成了迅速地和,不用任何主要争论点,包括严重的行程由对 AIST 大厦的第四个楼阳台的起重机”,报表大卫 Voci,业务发展的卡尔蔡司 SMT 的主任猎户星座产品的。 AIST 将使用工具支持他们的研究到下一代半导体技术,以及为清明节应用。

被识别的研究题目包括低 K 电介质, EUV 光掩膜计量学、纳诺版本记录石版印刷、碳 nanotube 和 graphene 设备研究,以及应用支持太阳和燃料电池研究。 仪器在最终将供给所有 AIST 研究员为各种各样的使用从半导体到生命科学应用的用户设备位于。 “AIST 系统是第一猎户星座加上被设计并且被编译达到 0.35nm 探测范围说明被传送的显微镜。 EMSL 猎户星座加上仪器是此生成第二个工具,并且我们确信我们的生产和现场服务小组将同样好地完成此安装与 AIST 系统”,评论 Voci。

Last Update: 12. January 2012 07:56

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