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AIXTRON的魔法CNT沉積系統接收來自代爾夫特技術大學的訂購

Published on April 20, 2010 at 3:12 AM

AIXTRON AG公司今天宣布,為了一個黑色魔術CNT(碳納米管),荷蘭代爾夫特理工大學沉積系統。該系統是安裝在一個 1X4英寸晶圓代爾夫特微系統和納米電子學研究所(優生優育基金會)在代爾夫特理工大學在10,000級潔淨室配置。

代爾夫特理工大學在低溫沉積和系統的靈活性方面評估各種工具,才決定 AIXTRON的黑魔法系統後。良一石原教授,電氣工程學院,數學與計算機科學在優生優育基金會的意見(EEMCS):“魔法系統是一個成熟的設備,該系統是靈活和強大,提供廣泛的處理能力,使碳納米管增長。我們生產各類 CNT的這些獨特的功能吸引了我們為我們在碳納米管生長和MEMS器件的研究。“

優生優育基金會已成立一個世界領先的聲譽,在“超越摩爾定律”技術領域的創新成果。該研究院由幾個院系內代爾夫特,是眾所周知的高品質,其研究人員,經驗豐富的永久的技術人員和先進的設備。優生優育基金會是裝備精良的研究所與類 100-10,000的潔淨室,MEMS實驗室及特殊應用實驗室,覆蓋面積1500平方米。

Last Update: 16. October 2011 19:34

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