作为 Tegal 的 DRIE 产品的作用者被选择的 veonis 在德国

Published on April 21, 2010 at 3:37 AM

Tegal Corporation, (那斯达克:TGAL) 专门化的生产解决方法的创新者先进的 MEMS 的制造的,功率集成电路和光电子设备,宣布它在德国今天任命了 veonis 技术 Gmbh, Puchheim,德国,作为其硅的 DRIE 作用者和电介质 DRIE 产品。

veonis 技术是设备、材料和服务对这个半导体和相关行业的一个主导的泛欧供应商,带来有效解决方法给欧洲市场,与其从日本和美国的合作伙伴一起。

“Tegal Corporation 完全地现在集中于提供最好深刻的易反应的离子铭刻系统为 MEMS,功率设备,并且 3D 集成电路市场”,保罗 Werbaneth, Marketing 的副总裁说和 Applications, Tegal Corporation。 “与 veonis 技术,我们坚强的新的合作伙伴一起在德国,我们查找扩展市场,特别地与在他们的 DRIE 工具供应商实现的结果质量安置上限值的那些客户。 Tegal 的重大的 DRIE 进程技术的组合,与 veonis 的非常好的名誉一起在客户支持上,为 Tegal 是极大的,并且为我们的德国客户也是极大的”。

“我们是感到骄傲,并且尊敬选择了 Tegal Corporation 作为他们的德国的作用者”, veonis 技术说曼弗雷德 Schwarz,总经理。 “Tegal 的 DRIE 产品线在德国已经获得了宽支持并且享受在客户中的非常好的名誉。 安装的 Tegal DRIE 产品固定的基础将允许我们进一步扩展。 我们的重点在支持的现有的客户,以及在介绍 Tegal DRIE 产品给新的客户热切与 Tegal 的一起使用证明的和被设立的产品。 向上在这个市场上,我们的与 Tegal 的交战规定期限不可能是更好的”。

Tegal DRIE 工具在许多研究与开发实验室在世界各地被使用,参与商业和学术研究方案和在 MEMS 铸造厂也被找到,并且其他投入全世界商业大容积制造的线路。 特殊附注是 Tegal 的给予专利的锐利 - 超级高长宽比进程,达到硅 DRIE 长宽比 > 100:1 在生产环境里。

来源: http://www.tegal.com/

Last Update: 4. June 2015 05:53

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