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作為 Tegal 的 DRIE 產品的作用者被選擇的 veonis 在德國

Published on April 21, 2010 at 3:37 AM

Tegal Corporation, (那斯達克:TGAL) 專門化的生產解決方法的創新者先進的 MEMS 的製造的,功率集成電路和光電子設備,宣佈它在德國今天任命了 veonis 技術 Gmbh, Puchheim,德國,作為其硅的 DRIE 作用者和電介質 DRIE 產品。

veonis 技術是設備、材料和服務對這個半導體和相關行業的一個主導的泛歐供應商,帶來有效解決方法給歐洲市場,與其從日本和美國的合作夥伴一起。

「Tegal Corporation 完全地現在集中於提供最好深刻的易反應的離子銘刻系統為 MEMS,功率設備,并且 3D 集成電路市場」,保羅 Werbaneth, Marketing 的副總裁說和 Applications, Tegal Corporation。 「與 veonis 技術,我們堅強的新的合作夥伴一起在德國,我們查找擴展市場,特別地與在他們的 DRIE 工具供應商實現的結果質量安置上限值的那些客戶。 Tegal 的重大的 DRIE 進程技術的組合,與 veonis 的非常好的名譽一起在客戶支持上,為 Tegal 是極大的,并且為我們的德國客戶也是極大的」。

「我們是感到驕傲,并且尊敬選擇了 Tegal Corporation 作為他們的德國的作用者」, veonis 技術說曼弗雷德 Schwarz,總經理。 「Tegal 的 DRIE 產品線在德國已經獲得了寬支持并且享受在客戶中的非常好的名譽。 安裝的 Tegal DRIE 產品固定的基礎將允許我們進一步擴展。 我們的重點在支持的現有的客戶,以及在介紹 Tegal DRIE 產品给新的客戶熱切與 Tegal 的一起使用證明的和被設立的產品。 向上在這個市場上,我們的與 Tegal 的交戰規定期限不可能是更好的」。

Tegal DRIE 工具在許多研究與開發實驗室在世界各地被使用,參與商業和學術研究方案和在 MEMS 鑄造廠也被找到,并且其他投入全世界商業大容積製造的線路。 特殊附註是 Tegal 的給予專利的銳利 - 超級高長寬比進程,達到硅 DRIE 長寬比 > 100:1 在生產環境裡。

來源: http://www.tegal.com/

Last Update: 25. January 2012 19:22

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