Site Sponsors
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD

أكسفورد الآلات ويدخل النظام PlasmaPro NGP80

Published on June 1, 2010 at 9:05 PM

قيادي في مجال الأدوات لترسب ، حفر والنمو ، أكسفورد الآلات قد بدأت للتو نظامها NGP80 PlasmaPro. أداة ضغط مفتوح التحميل ، PlasmaPro NGP80 يقدم حلولا متعددة حفر البلازما وترسب على منصة واحدة مع فتح التحميل مريحة.

نظام البصمة صغيرة من السهل أن موقع وسهل الاستخدام ، مع عدم وجود حل وسط بشأن نوعية العملية ، وتكوينات متعددة مع التكنولوجيا العملية. تعتبر مثالية لNGP80 PlasmaPro R & D أو الإنتاج على نطاق صغير ، ويمكن من عملية القطع أصغر رقاقة ل200mm رقائق. تصميم مفتوح يسمح رقاقة تحميل سريع التحميل والتفريغ ، والنماذج المثالية لوالبحوث والانتاج المنخفض. الميزات الرئيسية الأخرى للNGP80 PlasmaPro هي دار الجيل الأخير نظام مراقبة ، أن يزيد بشكل كبير استرجاع البيانات وتوفر أسرع وأكثر مطابقة للتكرار ، وسهولة واضحة في الوصول إلى المكونات الرئيسية لتحسين الخدمات والصيانة.

تكوينات متعددة على العرض ، راي ، PECVD ، وبرنامج المقارنات الدولية راي / PE NGP80 يعني أن يقدم حلا لمجموعة واسعة من التطبيقات ، بما في ذلك من الثالث إلى الخامس عمليات حفر ، سيليكون بوش وعمليات حفر البرد ، مثل الماس ترسب (DLC) الكربون ، الصمام والكوارتز SiO2 حفر وترسب قناع الجاد وحفر لسطوع عالية الانتاج وغيرها الكثير.

وقد لبحوث فيزياء النانو مختبر في جامعة برمنغهام في NGP80 تجربته لأكثر من سنة ، وذلك باستخدام أداة للبحث في وضع الصور الجديدة للمقاومة الطباعة الحجرية الجيل القادم ، وتلفيق من ارتفاع نسبة انبعاث السيليكون الجانب ميدانية.

الدكتور اليكس روبنسون يتجه البحث وكان في غاية السرور مع نتائج NGP80 PlasmaPro "عززت بشكل كبير NGP80 Plasmapro قدراتنا النقش ، والبرامج الجديدة بسيطة جدا للتعلم ، ولكنه يسمح بمرونة كبيرة في بناء العمليات المعقدة. التكرار ممتاز معا مع تسجيل المعلمة شاملة مكنت نقل السريع من الخطوات التي سبق وضعها لتصنيع الجهاز الجديد ، وتعزيز العمل الذي أنجز سابقا على etchers مختلفة ، في حين أن المرونة وسهولة الاستخدام وسمحت لنا لتطوير بحثنا في اتجاهات جديدة. "

وقد تم شراء هذه المعدات من خلال مشروع AM1 : إنشاء واصفا الجيل القادم من المواد المتقدمة. هذا المشروع هو جزء من استثمارات كبيرة في البنية التحتية البحوث التي تمولها ويست ميدلاندز ومزايا الصندوق الأوروبي للتنمية الإقليمية (ERDF) في إطار أوسع من برمنغهام مدينة العلوم المبادرة. ملتحم الاستثمار في جامعات بيرمنغهام وارويك في التحالف المشكل حديثا بحوث العلوم سيتي لدفع الابتكار داخل المنطقة.

مدير مبيعات OIPT ، مارك فوسلو ، ويقول عن إطلاق ايجابية للغاية لكلا OIPT وعملائها "، كشركة ونحن ملتزمون ابتكار المنتجات المستمر من أجل أن نقدم لعملائنا أحدث التقنيات والنظم في عملية الترسيب ، وحفر والنمو وقد وضعت. NGP80 للسماح أسرع الإنتاجية ، وزيادة التكرار بتكلفة مخفضة للزبون. ومثل هذه التجارب الناجحة في جامعة برمنغهام كامل الآن ، ونحن واثقون من أن عملاءنا سيجدون في PlasmaPro NGP80 ، الجيل التالي أداة البلازما يعيش ما يصل إلى اسمه ".

أكسفورد الآلات تهدف إلى تحقيق التنمية المسؤولة وفهم أعمق للعالم من خلال العلم والتكنولوجيا ، وهذا ابتكار أحدث المنتجات والتعاون مع إحدى الجامعات البحثية الرائدة يعزز هذا.

Last Update: 12. October 2011 00:58

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit