Gli Strumenti di Oxford Introduce il Sistema di PlasmaPro NGP80

Published on June 1, 2010 at 9:05 PM

Una guida in strumenti per incissione all'acquaforte, il deposito e la crescita, Strumenti di Oxford ha lanciato appena il suo sistema di PlasmaPro NGP80. Uno strumento compatto di aperto caricamento, incissione all'acquaforte del plasma di offerte di PlasmaPro NGP80 e soluzioni versatili di deposito su una piattaforma con caricamento aperto conveniente.

Il Suo piccolo sistema di orma è facile da collocare e di facile impiego, senza il compromesso su qualità trattata e con le configurazioni multiple di tecnologia della trasformazione. Il PlasmaPro NGP80 è adatto idealmente a R & S o a produzione su scala ridotta e può elaborare dai più piccoli pezzi del wafer ai wafer di 200mm. La progettazione aperta del caricamento permette il caricamento veloce e lo scarico del wafer, gli ideali per la ricerca, il modello e la produzione a basso volume. Altre caratteristiche fondamentali del PlasmaPro NGP80 sono l'ultimo sistema di controllo del BUS della generazione, quella notevolmente aumenta il reperimento dei dati e consegna la corrispondenza più veloce e più ripetibile e la facilità chiara di accesso alle componenti chiavi per l'assistenza e la manutenzione migliori.

Le configurazioni multiple in vendita, media di RIE, di PECVD, dell'ICP & di RIE/PE che NGP80 offre una soluzione per una vasta gamma di applicazioni, compresi i trattamenti incissione all'acquaforte di III-V, Silicio Bosch e trattamenti della cryo-incissione all'acquaforte, Diamante Come il deposito (DLC) del Carbonio, incissione all'acquaforte del quarzo e di SiO2, il deposito duro della maschera ed incissione all'acquaforte per produzione e molto di alta luminosità LED.

Il Laboratorio Di Ricerca Di Fisica di Nanoscale all'Università di Birmingham trialling il NGP80 per più un anno, facendo uso dello strumento ricercare lo sviluppo di nuovo foto-resiste a per la litografia della generazione seguente e la lavorazione di alto silicio di allungamento ha basato gli emettitori del campo.

Il Dott. Alex Robinson capo la ricerca ed estremamente è stato soddisfatto con i risultati di PlasmaPro NGP80, “Il Plasmapro NGP80 significativamente ha aumentato le nostre capacità incisione. Il nuovo software è molto semplice imparare, ma permettere la considerevole flessibilità sviluppare i trattamenti complessi. La ripetibilità Eccellente insieme alla registrazione di parametro completa ha permesso ad un trasferimento rapido dei punti precedentemente sviluppati di montaggio nel nuovo commputer, consolidante il lavoro precedentemente fatto vari etchers, mentre la flessibilità e la facilità d'uso hanno permesso che noi sviluppassimo la nostra ricerca nelle nuove direzioni.„

La strumentazione è stata approvvigionata con il progetto AM1: Creando e Caratterizzando Next Generation dei Materiali Avanzati. Questo progetto fa parte di un investimento importante nell'infrastruttura della ricerca costituita un fondo per dalla West Midlands di Vantaggio e nel Fondo Europeo di Sviluppo Regionale (ERDF) nell'ambito di più ampia iniziativa della Città di Scienza di Birmingham. L'investimento ha unito le Università di Birmingham e di Warwick in una Ricerca formata di recente Alliance della Città di Scienza per avanzare l'innovazione all'interno della regione.

Direttore di Vendite per OIPT, il Segno Vosloo, dice che il lancio è estremamente positivo per entrambi i OIPT ed i sui clienti, “Poichè una società siamo impegnati nell'innovazione di prodotto costante per offrire ai nostri clienti le ultimi tecniche e sistemi trattati incissione all'acquaforte, nel deposito e nella crescita. NGP80 è stato sviluppato per permettere la capacità di lavorazione più veloce e la maggior ripetibilità ad un costo diminuito al cliente. Con tali riuscite prove all'Università di Birmingham ora completa, siamo sicuri che i nostri clienti troveranno il PlasmaPro NGP80, strumento del Plasma di Next Generation stiamo vivendo fino al suo nome.„

Gli Strumenti di Oxford mira a perseguire lo sviluppo responsabile e la comprensione più profonda del mondo con Scienza e Tecnologia e questi ultime innovazione e collaborazione di prodotto con un'università principale della ricerca rinforza questa.

Last Update: 12. January 2012 00:59

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