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AIXTRON的氮化矽納米線項目提供CRIUS沉積系統

Published on June 28, 2010 at 3:33 AM

AIXTRON AG公司今天宣布了一項新秩序的一個 CRIUS從杜伊斯堡 - 埃森大學的沉積系統。的順序被放置在2009年第四季度,該系統將在2010年第二季度交付。

AIXTRON的本地支持團隊將在杜伊斯堡 - 埃森半導體與光電,德國杜伊斯堡中心大學委員會新的反應堆。該系統將提供一個 3x2英寸配置,並配帶有一個 ARGUS多通道測溫儀。

博士,教授RER。 NAT。弗朗茨約瑟夫 Tegude,半導體技術,評論主席說:“我們作為大學的主動獲取氮化物納米線 NaSoL項目的氮化物材料體系的一部分選擇 AIXTRON CCS系統。我們與 AIXTRON設備的經驗,源遠流長的方式 - 我們是他們的第一批客戶之一。反應器的功能,包括輕微 /低旋轉速度的結合也很可觀。整體而言,我們一直非常滿意,與 AIXTRON的工程,流程和服務質量。當然,我們還考慮到了我們的項目合作夥伴關係。 NaSoL項目旨在實現生產氮化鎵和(鋁,鎵,)N基於半導體納米線,以提高效率的太陽能電池和LED。 AIXTRON CCS系統會為順利和快速發展為我們所有的合作夥伴計劃提供了堅實的基礎。“

NaSoL,“Halbleiter Nanodrähte獻給 Solarzellen和Leuchtdioden”將導致在一個半導體納米線的新一代太陽能電池和LED。我們的目的是要取代較昂貴的傳統半導體製造技術與金屬有機化學氣相沉積。納米線為基礎的材料有許多優良特性,並提供了更好的經濟。他們不僅顯著更有效地吸收和光發射,但也承諾在能源運輸非常低的損失。同軸納米級核殼這些器件異質結具有較大的比表面積,所以它吸收更多的光線,並提供更好的效率。此外,新工藝提供了設備製造成本較低的基板上。

在NaSoL項目的合作夥伴,在杜伊斯堡 - 埃森中心,半導體和光電(ZHO)和電子材料和納米結構部大學 AIXTRON AG公司。北萊茵 - 威斯特法倫州的支持下,該研究項目被正式批准,並在2009年第三季度開始。該項目的資助下目標 2競爭 NanoMikro + Werkstoffe北威州。

來源: http://www.aixtron.com/

Last Update: 4. October 2011 06:26

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