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Surrey NanoSystems Stellt Neuen Benchmark für Produktion von Nanomaterials ein

Published on July 6, 2010 at 7:46 AM

Heute stellt Surrey NanoSystems einen neuen Benchmark für die Produktion von Nanomaterials mit der Produkteinführung einer automatisierten und außergewöhnlich vielseitigen Wachstumsplattform, NanoGrowth-Katalysator ein. Neun fortgeschrittene Verfahrenstechniken des Nanomaterial Enthalten, kann die Plattform eine außergewöhnliche Vielzahl von Nanomaterials einschließlich graphene, nanowires und Kohlenstoff nanotubes synthetisieren.

Anwendungsvielseitigkeit wird durch eine Multikammer Auslegung erhöht - eine erste in dieser Branche - die die reinsten Prozessbedingungen sicherstellt, indem es kontinuierlich die Substratfläche unter Vakuum von der Absetzung von Katalysatoren zum Wachstum von Nanomaterials wartet. Dieses aufeinander folgende Vakuumaufbereiten ist- für die Vorläufer und die Katalysatoren kritisch, die für Nanomaterials verwendet werden, die leicht durch Belastung durch Atmosphäre verunreinigt werden.

„Surrey NanoSystems kam die Wirtschaft mit einer bahnbrechenden Plattform, die CVD kombiniert und Plasma-erhöhte CVD-Nanomaterialwachstumstechniken,“ sagt Ben Jensen von Surrey NanoSystems. „Diese neue Plattform nimmt Flexibilität viel weit aufbereiten. Sie bietet die Mittelwerte zu unterstützen und Drehzahlforschung über dem Spektrum von Nanomaterials an, kombiniert mit dem automatisiertem Handhaben und Regelung, zum von Entwicklern zu helfen, materielle Wachstumsideen zu die praktischen und wiederholbaren Produktionsverfahren zu machen.“

NanoGrowth-Katalysator ersetzt mehrfache Geräte durch eine einzelne automatisierte Anlage. Die Verfahrenstechniken, die durch die neue Plattform unterstützt werden, sind: LPCVD (Unterdruckabsetzung des chemischen Dampfes) und PECVD (Plasma-erhöhter CVD), spritzend, spritzen Radierung und von festen oder Flüssigphasenkatalysatoren/von Vorläufern veraschen, Lieferung, Schaffung von Esteuertdichte Nanoparticlekatalysatoren bei Zimmertemperatur, thermisches Ausglühen, schnelles thermisches (RTP) des schnellen thermischen Wachstums für die Nanomaterials aufbereiten und ein eindeutiges Formular, die RTG genannt werden, das entwickelt worden ist, um Agglomeration von Katalysatorpartikeln zu verhindern.

Die Plattform unterstützt auch Breitbandsubstratflächenentgasung, um Oberflächenverschmutzer zu löschen, bevor sie - helfend, den optimalen Beitritt von Katalysatoren und von Filmen sicherzustellen aufbereitet. Eine induktiv verbundene Plasmaquelle kann als Option zusätzlich befestigt werden - zu der Zeit des Kaufs oder während des Lebenszyklus der Plattform - um die Generation von den empfindlichen Materialien zu optimieren, die in den Wachstumsprozessen eingesetzt werden.

Eine in hohem Grade grafische Schnittstelle gibt Benutzern vollständige Kontrolle über den aufbereitenden Parametern und den Schritten. Mit seiner Reichweite der Technikbenutzer können den NanoGrowth-Katalysator für das Herstellen oder das Entbinden von Wachstumskatalysatoren einsetzen und die Vorläufer (die Doppelmagnetrons der Spritzenplattform unterstützen auch Mitabsetzung) und nanoparticles, Katalysator- oder Materialaktivierung, wachsende Materialien, Radierung und Absetzung bei Zimmertemperatur abgeben von aktiven oder passiven Barrierefolien.

Die Anlage hat drei Kammern: eine Belastung/eine Schleusenkammer und zwei Reaktionskammern, plus ein automatisches Verkehrssystem für das Verschieben von Wafers/von Substratflächen. Das Aufeinander folgende Atmosphäre-freie Aufbereiten stellt die Zustände des höchsten Reinheitsgrades sicher, um Verunreinigung und Oxidation herabzusetzen und die konsequenten und wiederholbaren Ergebnisse sicherzustellen. Trotz seiner umfangreichen Fähigkeit besetzt NanoGrowth-Katalysator nur einen sehr kleinen Cleanroomabdruck von 1 x von 2 M.

Die Bedingung für diese reich ausgerüstete Plattform kam teils von den Anträgen durch Benutzer der ersten Wachstumsplattform Surreys NanoSystems, die einzelne Reaktionskammer NanoGrowth 1000n und von den Forschern bei Surrey NanoSystems und sein Forschungspartner, das Neue Technologie-Institut an der Universität von Surrey.

Zusätzlich zur Herstellung von Wachstumsplattformen, nimmt Surrey NanoSystems an sich entwickelnden nanoelectronics Materialien und Prozessen teil, um die anhaltende Gradeinteilung von Halbleiterbauelementen zu unterstützen. Das automatisierte Handhaben und der Reichtum der NanoGrowth-Katalysatoren von erreichbaren Fertigungsgenauigkeiten werden als die entscheidende Plattform gesehen, um die eigene Forschung der Firma in Nanomaterialwachstum bei den Temperaturen zu unterstützen, die mit Mainstream CMOS-Fälschung kompatibel sind. Die Firma hat bereits beträchtliche Fortschritte gemacht, wenn sie praktische Techniken für die Fabrikation von Verbindung vias und von niedrig--K Dielektrika für Zwischenlagenisolierung - Tastenherausforderungen auf der Straßenkarte der Halbleiterindustrie entwickelte, wie Prozessgeometrie schrumpfen.

„Wir erwarten dieses neue Wachstumshilfsmittel, um die Zeit zum Markt zu verkürzen für die Untersuchung von Nanomaterials und sie an den Handelsprodukten anwendend,“ fügt Ben Jensen hinzu. „Es gibt nichts, mit ihm auf dem Markt heute zu vergleichen und er bietet eindeutig starke Mittelwerte der Untersuchung und des Entwickelns von Nanomaterialtechnologien.“ an

Surrey NanoSystems hat bereits Vorausbestellungen für den neuen NanoGrowth-Katalysator empfangen und aktuell einen Anfangsstapel von drei Anlagen herstellt.

Last Update: 11. January 2012 22:37

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