Posted in | Nanoelectronics

אפלייד מטריאלס חושפת אווילה מערכת הפקה TSV

Published on July 13, 2010 at 3:51 AM

אפלייד מטריאלס, Inc מובילה את פיתול הטכנולוגיה הבאה לקדם באמצעות סיליקון דרך (TSV) טכנולוגיה לייצור בכמויות גדולות. ביקר כטכנולוגיה קריטית לייצור מכשירים ניידים בעתיד בעולם, מבנים TSV להתחבר שכבות מרובות של מעגלים משולבים או שבבי מוערמים (3D-ICS) כדי לספק ביצועים גבוהים יותר, פונקציונליים יותר, קטן גורם צורה חבילה צורכת פחות חשמל.

עם ההכרזה של היום של אווילה מפיק יישומי ™ מערכת, אפלייד מטריאלס הופכת לספקית ציוד הראשונה להציע פתרונות מקיפים TSV להאצת הפיתוח ואת זמן היציאה לשוק של 3D-שבבים.

לדברי החוקרים בשוק, chipmakers המובילים עושים השקעות אסטרטגיות 3D-TSVs, עם יותר מחמש עשרה שורות טייס 300mm במבצע או תחת ברמת רקיק הזדמנות development.1 של אפלייד בשוק ציוד אריזה מתקדמים, כולל TSV ייצור, צפוי להיות כמעט 500 דולר ארה"ב מיליון year.2

"שבב 3D הערמה עם TSV חיבורים מספק את תעשיית פתרון משכנעת דרוג שבב, אלא יישום מוצלח של TSVs דורש רמה חסרת תקדים של שיתוף פעולה בתוך שרשרת האספקה", אמר ד"ר בארט Swinnen, מנהל Interconnect אריזות ב imec. "אפלייד הוא תורם מרכזי בתוכנית 3D TSV שלנו שבו אנו מפתחים פתרונות חסכוניים טכנולוגיה ייתן מימד נוסף קנה המידה."

אחד המפתחות כדי בודה רבים מבני שבב 3D הוא יכולת להפקיד בידוד תחמוצת סיליקון ניטריד סרטים בטמפרטורות פחות מ 200 ° C. TSVs במבנים אלה נוצרות על פרוסות דק במיוחד בשלבים הסופיים של תהליך הייצור, שם בטמפרטורות גבוהות עלולה לגרום נזק דבק המשמש הקשר רקיק המוביל הזמני. מפגש ייחודי זה אתגר, מערכת אווילה מספק ללקוחות אולטרה אחיד, טמפרטורה נמוכה PECVD3 סרטים במהירות של עד התפוקה שלוש פעמים רקיק של טכנולוגיות מתחרות, המאפשר עד 30% ולהפחית את עלות הבעלות של-. ללקוח יש כבר מוסמך מערכת אווילה להפקת פיילוט של התקני זיכרון מוערמים.

"גישה הוליסטית שלנו מאפשר לנו להציע ללקוחות הכלים להשלים לייצור כל TSV זורם המקיף לחרוט, CVD, PVD4, ECD5, ניקוי רקיק CMP6", אמר ד"ר Randhir תהאקור, סגן נשיא בכיר ומנהל כללי של קבוצת מערכות הסיליקון של אפלייד. "עם היכולת הייחודית שלנו כדי לאמת את תזרימי תהליך שלם על טכנולוגיה Maydan מרכז, יישומי יכול להאיץ למידה עבור לקוחות חברי הקונסורציום, להבטיח מעבר חלק מ - R & D נפח הייצור."

מקור: http://www.appliedmaterials.com/

Last Update: 3. October 2011 02:40

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit