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ADT Protegge SBIR Fondo per lo sviluppo di Condizionatori Pad New

Published on July 15, 2010 at 1:48 AM

Advanced Technologies Diamond (ADT) ha ricevuto una Fase I Piccoli Business Innovation Research (SBIR) borsa di studio della National Science Foundation (NSF) per sviluppare la prossima generazione di meccanici planarizzazione chimica (CMP) condizionatori pad per l'industria dei semiconduttori.

Le sporgenze controllato geometriche su ADT microfabbricazione diamante CMP condizionatori pad permettono la produzione di dispositivi a semiconduttore prossima generazione offrendo allo stesso tempo l'inerzia insuperabile chimica del diamante senza il fallimento "tirare fuori" che caratterizzano attualmente disponibili diamante pad CMP.

Immagine di altamente ripetibile, Advanced Technologies Diamond 'scala wafer, strutture diamante 3D disponibile in diverse altezze struttura e piazzole per progettati condizionatori pad CMP.

ADT condizionatori pad caratteristica altamente ripetibile strutture diamante 3D che crea una superficie strutturata e molte altezze diversa struttura e piazzole possono essere facilmente costruito. Questi condizionatori pad sono realizzati utilizzando tecniche di grande raffinatezza la lavorazione dei semiconduttori che consentono ADT di offrire prodotti che sono di qualità molto superiore rispetto alla generazione attuale di condizionatori a prezzi competitivi.

"I vantaggi di una superficie diamantata micromachined includono bassa usura e fantasia a quadri precisa, per soddisfare le esigenze del nodo 32 nm e oltre, che può portare a CMP condizionatori pad che durano più a lungo e prestazioni migliori rispetto agli standard attuali del settore," ha detto il dottor . John A. Carlisle, Chief Technology Officer, ADT.

"Con un potenziale ordine di grandezza di vita per il condizionatore pad, la frequenza di cambiare entrambi i pad e pad condizionatore può essere ridotto, risparmiando tempo e denaro", ha detto il Dott. Diane P. Hickey, direttore vendite e marketing, ADT. "I nostri condizionatori pad possono essere progettati e ottimizzati per il pad e combinazioni diverse liquami. Stiamo collaborando con operatori del settore CMP di portare questa entusiasmante tecnologia sul mercato ".

ADT ringrazia programma SBIR della NSF per sponsorizzare questo lavoro.

Fonte: http://www.thindiamond.com/

Last Update: 3. October 2011 20:59

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