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Carl Zeiss Introduit le Système d'Injection Neuf de Gaz pour ORION Plus le Microscope d'Ion d'Hélium

Published on August 2, 2010 at 4:21 AM

Carl Zeiss a aujourd'hui introduit un Système d'Injection neuf de Gaz pour l'ORION® Plus le Microscope d'Ion d'Hélium. La combinaison d'une sonde du sous-nanomètre (moins que 0.35nm) des ions de gaz inerte avec un petit volume d'interaction sur la surface témoin active des chimies hautement précises d'induction. Les structures donnantes droit ont des sions de dimen- et la fidélité extrêmement petits de profil haut. Cette technologie d'avant-garde est dévoilée à la Conférence de M&M 2010 à Portland, Orégon, 1-5 août.

M. Paul Alkemade à l'Institut de Kavli de la science Nanoe, Université De Technologie de Delft, Est l'un des premiers chercheurs en position De ion-induite et gravure d'hélium. Selon M. Alkemade, « L'instrument optimum pour la nanofabrication exige la résolution spatiale élevée et l'efficience de dépôt de haut. Heureusement, le faisceau d'ions d'Hélium sur l'ORION Plus l'instrument fournit la définition pour le dépôt qui est encore meilleur que cela réalisé par un microscope électronique de lecture (SEM). De plus, le faisceau d'ions d'Hélium fournit les efficiences de dépôt qui sont très assimilées à ceux réalisées avec un instrument orienté lourd de faisceau d'ions de l'ion (GA (FIB)). Avec l'intégration d'un Système d'Injection de Gaz, le Microscope d'Ion d'Hélium d'ORION s'avère être l'instrument droit pour la recherche de nanofabrication. »

Les contrôles pour le Système d'Injection de Gaz (GIS) sont sans faille intégrés par l'ORION Plus le logiciel système. L'ensemble de GIS contient trois creusets capables de fournir le dépôt en métal et d'isolant et les chimies gravure à l'eau forte d'isolant. Des recettes programmables d'Utilisateur peuvent être produites et tenir compte indiqué des procédés complexes de dépôt et gravure à l'eau forte. Le Système d'Injection de Gaz sur l'Orion Plus produit une plate-forme puissante et flexible activant des applications de pointe de nanofabrication.

Pour apprendre plus au sujet de ce développement passionnant, rendez visite s'il vous plaît à Carl Zeiss SMT à la cabine 1274 à la Conférence de M&M 2010 à Portland, Orégon, ou entrez en contact avec votre représentant de commerce de Carl Zeiss SMT.

Last Update: 12. January 2012 05:59

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