Posted in | Microscopy | Nanobusiness

Карл Zeiss Вводит Новую Систему Впрыски Газа для ОРИОНА Плюс Микроскоп Иона Гелия

Published on August 2, 2010 at 4:21 AM

Карл Zeiss сегодня ввело новую Систему Впрыски Газа для ORION® Плюс Микроскоп Иона Гелия. Сочетание из зонд sub-нанометра (чем 0.35nm) ионов инертного газа с малым томом взаимодействия на поверхности образца включает сильно точные химии индукции. Приводя к структуры имеют весьма малые sions dimen- и высоко-профильную точность воспроизведения. Эта технология прорыва раскрывается на Конференции M&M 2010 в Портленде, Орегоне, 1-ое-5 августа.

Др. Паыль Alkemade на Институте Kavli Nano науки, Технологического Университета Делфта, один из предыдущих исследователей в de ион-наведенном гелием положении и вытравливании. Согласно Др. Alkemade, «Оптимальная аппаратура для nanofabrication требует и высокого пространственного разрешения и высокой эффективности низложения. К радости, луч иона Гелия на ОРИОНЕ Плюс аппаратура обеспечивает разрешение для низложения которое даже лучше чем то достиганное электронным кинескопом скеннирования (SEM). В добавлении, луч иона Гелия обеспечивает эффективности низложения которые очень подобны к которомудостиганному с тяжелой аппаратурой луча иона иона (Ga) (FIB) сфокусированной. С внедрением Системы Впрыски Газа, Микроскоп Иона Гелия ОРИОНА доказывает быть правой аппаратурой для исследования nanofabrication.»

Управление для Системы Впрыски Газа (GIS) плавно интегрировано через ОРИОН Плюс системное программное обеспечение. Блок GIS содержит 3 тигля способного поставлять низложение металла и изолятора и химии etch изолятора. Рецепты Пользователя programmable можно создаться и вспомненный позволять для сложных процессов низложения и etch. Система Впрыски Газа на Орионе Плюс создает мощную и гибкую платформу включающ современные применения nanofabrication.

Для того чтобы выучить больше о этом exciting развитии, пожалуйста навестиньте Карл Zeiss SMT на будочке 1274 на Конференции M&M 2010 в Портленде, Орегоне, или контактируйте ваш представителя по сбыту Карл Zeiss SMT.

Last Update: 12. January 2012 06:57

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit