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Posted in | Microscopy | Nanobusiness

卡爾蔡司推出新的天然氣噴射系統歐麗安加氦離子顯微鏡

Published on August 2, 2010 at 4:21 AM

卡爾蔡司今天推出一個新的氣體噴射系統,獵戶座®加氦離子顯微鏡。一個亞納米級(小於 0.35nm)惰性氣體離子探針與樣品表面的小互動量的結合,實現高度精確的感應化學。由此產生的結構有非常小的維度和知名度很高的保真度。這一突破性的技術正在推出的M&M 2010年1-5月在俄勒岡州波特蘭市會議。

保羅博士艾爾克梅德 Kavli研究所在納米科學,代爾夫特技術大學,是氦離子誘導的地位和蝕刻的早期研究者之一。據艾爾克梅德博士說,“最佳的納米加工工具,既需要高空間分辨率和高熔敷效率。,幸運的是,對獵戶座加儀器的氦離子束沉積,甚至是比掃描電子顯微鏡所取得更好的決議( SEM)此外,氦離子束沉積效率非常相似,實現了與重離子(GA)的聚焦離子束(FIB)的儀器。燃氣噴射系統的整合,“獵戶座”氦離子顯微鏡證明是正確的納米加工研究儀器。“

注氣系統(GIS)的控制是通過獵戶座Plus系統軟件無縫集成。地理信息系統單元包含三個坩堝能夠提供金屬和絕緣體沉積和絕緣體蝕刻化學。可以創建用戶可編程的食譜,並回顧允許複合物的沉積和蝕刻工藝。獵戶座加氣噴射系統,建立一個強大而靈活的平台,使國家的最先進的納米加工應用。

為了了解這一激動人心的發展,請訪問卡爾蔡司SMT展位1274 2010年在俄勒岡州波特蘭市,在M&M的會議,或聯繫您的卡爾蔡司SMT銷售代表。

Last Update: 5. October 2011 09:36

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