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Posted in | Nanoanalysis | Nanobusiness

Eulitha stellt tiefgeätzt Gitterroste für Spektroskopie-Anwendungen

Published on August 13, 2010 at 2:28 AM

Transmission Beugungsgitter sind in vielen Forschungs-und Entwicklungsprojekte wie Charakterisierung von EUV-Lichtquellen oder-Experimente in den EUV-Bereich erforderlich.

Wegen der hohen Absorption durch alle Materialien in diesem Spektralbereich (ca. 5-20 nm) die Gitter muss auf dünnen Membranen hergestellt werden und die Schlitze sollten vernachlässigbare Absorption haben. Nach langjähriger Erfahrung in der Herstellung von EUV Transmissionsgittern Eulitha bietet jetzt tief geätzt Gitter für die Spektroskopie-Anwendungen.

REM-Aufnahme eines 1mm Zeitraum Gitter geätzt in eine Siliziumnitrid-Membran. Der Querschnitt dieses Gitters ist im Einschub gezeigt.

Die Gitter werden nach Kundenspezifikation angefertigt werden, zB Größe, Linienbreite und Teilungsperiode konzipiert. Die mechanische Stabilität und Haltbarkeit der Membranen zeichnen sich durch eine extrem dünne (ca. 20nm) Schicht aus Siliziumnitrid links in die Schlitze und ein Querbalkenstruktur ungeätzten gewährleistet. Unsere ausgereifte Prozesse und Know-how in der Verarbeitung des extrem fragil Membranen ermöglicht es uns, hochwertige Gitter zu erschwinglichen Preisen anzubieten.

Eulitha ist ein Pionier und Marktführer in der Produktion von hochwertigen Nanostrukturen mit Hilfe modernster Lithographie-Techniken. Wir bieten Ihnen maßgeschneiderte und standardisierte Nanostrukturen mit einer Auflösung bis hinunter zu sub-20 nm-Bereich.

Eulitha der Fertigung für die periodische Nanostrukturen ist auf dem Rekord-Extreme Ultraviolet Interferenzlithographie EUV-IL-Technologie basieren. Das Verfahren nutzt bei einer Wellenlänge von etwa 13 nm-Licht. Eulitha fertigt eindimensionalen linearen Gittern und zweidimensionale Punkt-Arrays oder Gittern von EUV-IL

Quelle: Eulitha

Last Update: 3. October 2011 04:50

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