Site Sponsors
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Technical Sales Solutions - 5% off any SEM, TEM, FIB or Dual Beam
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
Posted in | Nanoanalysis | Nanobusiness

Eulitha는 분광학 응용을 위한 깊은 곳에서 식각한 격자판을 소개합니다

Published on August 13, 2010 at 2:28 AM

전송 회절 격자판은 EUV 광원의 특성과 같은 많은 연구와 개발 계획사업에서 요구됩니다 또는 EUV에 있는 분광학 실험은 구역 수색합니다.

이 괴기한 범위 (대략 5-20 nm)에 있는 모든 물자에 의하여 높은 흡수 때문에 격자판은 얇은 막에 해야 하고 틈새에는 사소한 흡수가 있어야 합니다. EUV 전송 격자판 Eulitha의 제작에 있는 오래 계속되는 경험이 분광학 응용을 위한 깊은 곳에서 식각한 격자판을 제안하고 있습니다 있는 것은 지금.

실리콘 질화물 막으로 식각되는 1mm 기간 격자판의 SEM 심상. 이 격자판의 단면은 삽입물에서 보입니다.

격자판은 고객 논고, 예를들면 규모, 선폭 및 삐걱거리는 피치에 따라 디자인됩니다. 막의 기계적인 안정성 그리고 내구성은 틈새 및 빗장 구조물에서 unetched 넣어둔 실리콘 질화물의 극단적으로 얇은 (Ca. 20nm) 층에 의해 지켜집니다. 극단적으로 허약한 막 가공에 있는 우리의 성숙한 프로세스 그리고 전문 기술은 저희를 적당한 가격에 고품질 격자판을 제안하는 가능하게 합니다.

Eulitha는 향상된 석판인쇄술 기술을 사용하여 고품질 nanostructures의 생산에 있는 개척자 그리고 지도자입니다. 우리는 이하 20 nm 지구까지 아래로 연장하는 해결책을 가진 주문품의와 표준화한 nanostructures를 제안합니다.

정기적인 nanostructures를 위한 Eulitha의 제작은 그것의 기록 갱신 극단적인 자외선 방해 석판인쇄술 EUV-IL 기술에 근거를 둡니다. 방법은 대략 13 nm의 파장에 빛을 이용합니다. Eulitha는 EUV-IL에 의하여 1차원적인 선형 격자판 및 2차원 점 소집 또는 격자 날조합니다

근원: Eulitha

Last Update: 12. January 2012 05:27

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit