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Eulitha Introduz Gratings Profundamente Gravados para Aplicações da Espectroscopia

Published on August 13, 2010 at 2:28 AM

Os gratings de difracção da Transmissão são exigidos em muitos projectos da investigação e desenvolvimento tais como a caracterização de fontes luminosas de EUV ou as experiências da espectroscopia no EUV variam.

Devido à absorção alta por todos os materiais nesta escala espectral (aproximadamente 5-20 nanômetro) os gratings devem ser feitos nas membranas finas e as réguas devem ter a absorção insignificante. Ter a experiência de longa data na fabricação de gratings Eulitha da transmissão de EUV está oferecendo agora gratings profundamente gravados para aplicações da espectroscopia.

Imagem de SEM de um grating do período de 1mm gravado em uma membrana do nitreto de silicone. O secção transversal deste grating é mostrado inserir.

Os gratings são projectados de acordo com especificações do cliente, por exemplo tamanho, linewidth e passo grating. A estabilidade e a durabilidade mecânicas das membranas são asseguradas (CA 20nm) por uma camada extremamente fina de nitreto de silicone deixada unetched nas réguas e em uma estrutura da barra transversal. Nossos processos e experiência maduros em processar as membranas extremamente frágeis permitem-nos de oferecer os gratings de alta qualidade a preços disponíveis.

Eulitha é um pioneiro e um líder na produção dos nanostructures de alta qualidade usando técnicas avançadas da litografia. Nós oferecemos nanostructures feito-à-medida e estandardizados com a definição que estende para baixo à região de sub-20 nanômetro.

A fabricação de Eulitha para nanostructures periódicos é baseada em sua tecnologia Ultravioleta Extrema de recorde da litografia EUV-IL da Interferência. O método usa a luz em um comprimento de onda de aproximadamente 13 nanômetro. Eulitha fabrica gratings lineares de uma dimensão e disposições ou grades bidimensionais do ponto por EUV-IL

Source: Eulitha

Last Update: 12. January 2012 04:52

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