Posted in | Nanoanalysis | Nanobusiness

Eulitha Вводит Глубоко Вытравленные Решетки для Применений Спектроскопии

Published on August 13, 2010 at 2:28 AM

Решетки огибания Передачи необходимы в много опытно-конструкторских работ как характеризация источников света EUV или эксперименты по спектроскопии в EUV колебаются.

Из-за высокой абсорбциы всеми материалами в этом спектральном ряде (грубо 5-20 nm) решетки необходимо сделать на тонких мембранах и разрезы должны иметь незначительную абсорбциу. Иметь многолетний опыт в изготовлении решеток Eulitha передачи EUV теперь предлагает глубоко вытравленные решетки для применений спектроскопии.

Изображение SEM решетки периода 1mm вытравленной в мембрану нитрида кремния. Поперечное сечение этой решетки показано в inset.

Решетки конструированы согласно спецификациям клиента, например размеру, ширине линии и grating тангажу. Механически стабилность и стойкость мембран обеспечены весьма тонким (CA. 20nm) слоем нитрида кремния выйденным unetched в разрезы и структуру поперечины. Наши возмужалые процессы и экспертиза в обрабатывать весьма утлые мембраны позволяют мы предложить высокомарочные решетки на доступных ценах.

Eulitha пионер и руководитель в продукции высокомарочных nanostructures используя предварительные методы литографированием. Мы предлагаем выполненные на заказ и унифицированные nanostructures при разрешение удлиняя вниз к зоне sub-20 nm.

Изготовление Eulitha для периодических nanostructures основано на своей рекордной Весьма Ультрафиолетов технологии литографированием EUV-IL Взаимодействия. Метод использует свет на длине волны около 13 nm. Eulitha изготовляет одноразмерные линейные решетки и плоские блоки или решетки многоточия EUV-IL

Источник: Eulitha

Last Update: 12. January 2012 05:36

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit