Carl Zeiss ORION Plus Helium ion mikroskop bevæger sig uden sub-nanometer Imaging til nanofabrikation

Published on September 20, 2010 at 8:42 AM

Forskere undersøger i øjeblikket nye anvendelser for Helium Ion mikroskopi i nano-mønster. Da det ikke er begrænset af den nærhed effekten af ​​konventionel e-beam litografi, Helium-ion-teknologien synes at være en up-and-coming alternativ, især når det kommer til udskrivning nogensinde finere funktioner.

For over to år, ORION ® Plus Helium ion mikroskop fra Carl Zeiss har været kendt for sin ekspertise inden for imaging ubelagte isolerende prøver og bløde materialer med sub-nanometer opløsning (opløsning specifikation <0,35 nm). Nu - med en voksende installerede base af ORION instrumenter - akademiske og industrielle F & U microscopists udvider de mange forskellige applikationer til at omfatte nano-fabrikation.

Forskere har mønstrede 5 nm prikker på en 14 nm banen, mens andre hold har vist godt afgrænset L-bar linjer i HSQ modstå. Denne nye ordning for mønster Fidelity er aktiveret af store dybdeskarpheden af ​​mikroskopet og den korte rækkevidde ion indledt sekundære elektroner i typiske modstå materialer. Helium-ion defineret mønstre i HSQ kan nemt opnås uden de sædvanlige snævre processen vindue begrænsninger ofte forbundet med konventionelle optiske og e-beam litografi.

Ifølge Wei Wu, en ny Orion kunde, og en seniorforsker i Stan William informations-og Quantum Systems Lab på HP Labs i Palo Alto, Californien, "Vi ser frem til at fremme vores forskning vedrørende fremstilling og billeder af den mindst mulige nano - elektronisk og nano-fotoniske funktioner. Vi ser det ORION instrument som et unikt, stærkt værktøj, der vil gøre det muligt for os at fortsætte vores rekord forskning. "

Hvis du vil vide mere om denne spændende udvikling, besøge Carl Zeiss SMT stand på den internationale Mikroskopi Congress (IMC17) i Rio de Janeiro, Brasilien, den September 19-24, 2010, eller ved at kontakte Carl Zeiss SMT salgsrepræsentant.

Last Update: 7. October 2011 20:24

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit