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Carl Zeiss ORION Plus Helium-IonenMikroskop Zieht Über Unter-Nm Darstellung hinaus auf Nanofabrikation um

Published on September 20, 2010 at 8:42 AM

Wissenschaftler forschen aktuell Neunutzungen für Helium-Ionenmikroskopie beim Nano--Kopieren nach. Da sie nicht durch den Näherungseffekt herkömmlicher Eträger Lithographie begrenzt wird, scheint Helium-Ionentechnologie, eine strebend Alternative zu sein, besonders wenn es um den Druck von immer feineren Merkmalen geht.

Für über zwei Jahre bekannt das ORION® Plus Helium-IonenMikroskop von Carl Zeiss für seine hervorragende Leistung in unbeschichteten isolierenden Proben der Darstellung und in den weichen Materialien mit unter- nmauflösung (Auflösungsbedingung < 0,35 nm). Jetzt - mit einer wachsenden eingebauten Basis von ORIONS-Instrumenten - akademische und industrielle R&D-Mikroskopierer dehnen die Vielfalt von Anwendungen aus, um Nanofabrikation zu umfassen.

Forscher haben 5 nm-Punkte auf einem 14 nm Abstand kopiert, während andere Teams gut abgegrenzte L-Gericht Zeilen in HSQ widerstehen demonstriert haben. Diese neue Einfuhrüberwachung von Mustertreue wird durch die große Schärfentiefe des Mikroskops und durch das Kurzstrecken der Ion initialisierten Sekundärelektronen in den typischen Photoresists aktiviert. Helium-Ion definierte Muster in HSQ können ohne die üblichen schmalen Prozessfensterbeschränkungen leicht erhalten werden, die häufig mit herkömmlicher optischer und Eträger Lithographie verbunden sind.

Entsprechend Wei Wu, ein neuer Orions-Abnehmer und ein älterer Forschungswissenschaftler im Informations-und Quantums-Anlagen-Labor Stan Williams an HP Labors in Palo Alto, Kalifornien, „Wir freuen uns, unsere Forschung betreffend die Fälschung und die Darstellung der kleinsten möglichen elektronischen und Nano--photonischen Nano-Merkmale zu fördern. Wir sehen den ORION, als eindeutiges, leistungsfähiges Hilfsmittel zu instrumentieren, das uns aktiviert, unsere Rekord- Forschung fortzusetzen.“

Um mehr über diese aufregende Entwicklung zu lernen, besichtigen Sie den Stand Carl Zeisss SMT auf dem Internationalen Mikroskopie-Kongreß (IMC17) in Rio de Janeiro, Brasilien, am 19.-24. September 2010, oder bringen Sie Ihren Handelsvertreter Carl Zeisss SMT in Kontakt.

Last Update: 12. January 2012 09:23

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