Site Sponsors
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD

Carl Zeiss ORION Plus de Bewegingen van de IonenMicroscoop van het Helium Voorbij Weergave sub-Nanometer aan Nanofabricatie

Published on September 20, 2010 at 8:42 AM

De Wetenschappers onderzoeken momenteel nieuw gebruik voor de Ionenmicroscopie van het Helium in nano-vormt. Aangezien het niet door het nabijheidseffect van conventionele e-straal lithografie wordt beperkt, schijnt de Ionentechnologie van het Helium een up-and-coming alternatief te zijn, vooral wanneer het over het afdrukken van steeds fijnere eigenschappen komt.

meer dan twee jaar, is ORION® Plus de IonenMicroscoop van het Helium van Carl Zeiss gekend voor zijn voortreffelijkheid in weergave niet beklede isolerende steekproeven en zachte materialen met subnanometerresolutie (resolutiespecificatie < 0.35 NM). Nu - met het groeien installeerde basis van academische instrumenten ORION - en industrieel R&D microscopists de diversiteit van toepassingen uit breiden om nanofabricatie te omvatten.

De Onderzoekers hebben 5 NMpunten op een 14 NMhoogte gevormd terwijl andere teams hebben aangetoond goed omlijnde de l-Bar lijnen in HSQ ZICH verzetten tegen. Dit nieuwe regime van patroontrouw wordt toegelaten door de grote diepte van gebied van de microscoop en door op korte termijn van de ion in werking gestelde secundaire elektronen in typisch verzet me tegen materialen. De helium-Ionen bepaalde patronen in HSQ kunnen gemakkelijk zonder de gebruikelijke smalle beperkingen van het procesvenster worden verkregen vaak verbonden aan conventionele optische en e-straal lithografie.

Volgens Wei Wu, een nieuwe klant Orion, en een hogere wetenschappelijk onderzoeker in de Informatie van Stan William en het QuantumLaboratorium van Systemen bij de Laboratoria van HP in Palo Alto, Californië, „Wij verheugen ons op het bevorderen van ons onderzoek betreffende de vervaardiging en weergave van de kleinste mogelijke nano- elektronische en nano-photonic eigenschappen. Wij zien het instrument ORION als een uniek, krachtig hulpmiddel dat ons zal toelaten om ons verslag-brekend onderzoek voort te zetten.“

Om meer over deze opwindende ontwikkeling te leren, bezoek de cabine van Carl Zeiss SMT bij het Internationale Congres van de Microscopie (IMC17) in Rio de Janeiro, Brazilië, op vertegenwoordiger van Carl Zeiss SMT van September 19-24, 2010, of contacteren de uw.

Last Update: 12. January 2012 09:19

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit