Under-Nanometer för Det okända för Flyttningar för Mikroskop för Carl Zeiss ORION Positiv HeliumJon som Avbildar till Nanofabrication

Published on September 20, 2010 at 8:42 AM

Forskare utforskar för närvarande nytt bruk för HeliumJonmicroscopy, i nano-att mönstra. Verkställa av konventionellt e-strålar lithography, HeliumJonteknologi verkar för att vara ettkommande alternativ, Sedan den inte begränsas av närheten, när speciellt det kommer till utskrift av någonsin mer fin särdrag.

För över två år för HeliumJonen för ORION® tar prov det Positiva Mikroskopet från Carl som Zeiss har varit bekant för dess utmärkthet, i att avbilda obetäckt isolera, och mjuka material med undernanometerupplösning (upplösningsspecifikation < 0,35 nm). Nu - med växa installerat basera av ORION instrumenterar - akademiska och industriella R&D-microscopists fördjupa mångfalden av applikationer för att inkludera nano-fabricering.

Forskare har mönstrat 5 som nm pricker på en 14 nm-gradstund, andra lag har visat väl skissat konturernaa av L-Bommar för fodrar i HSQ motstår. Detta nya styre av mönstrar trohet möjliggöras av det stora djupet av sätter in av mikroskopet, och vid det shortrange av de initierade sekundära elektronerna för jonen i typisk motstå material. den definierade Helium-Jonen mönstrar i HSQ kan lätt erhållas utan det vanligt begränsar processaa fönstertvång som ofta är tillhörande med konventionellt optiskt och, e-strålar lithography.

Enligt Wei Wu, en ny Orion kund och en hög forskningforskare i Stan Williams Informations- och för Quantum System Labb på HP-Labb i Palo Alto, Kalifornien, ”ser Vi framåtriktat till att främja vår forskning angående fabriceringen och att avbilda av elektroniska för den minsta möjligheten nano och nano-photonic särdragen. Vi ser ORIONEN instrumentera som ett unikt, kraftigt bearbetar att ska möjliggöra oss för att fortsätta vår rekord-brytande forskning.”,

Besöka det Carl Zeiss SMT båset på LandskampMicroscopyKongressen (IMC17) i Rio de Janeiro, Brasilien, på September den Carl Zeiss SMT för 19-24, 2010 eller kontaktar ditt försäljare Att lära härom spännande utveckling.

Last Update: 26. January 2012 14:07

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit