EV Group lanserer Soft Molecular Scale nanoimprint litografi Technology

Published on October 14, 2010 at 5:29 AM

EV Group (EVG), en ledende leverandør av wafer liming og litografi utstyr for MEMS, nanoteknologi og halvledere markeder, i dag avduket en ny teknologi funksjon som muliggjør ultra-høy oppløsning fordelingen av funksjoner ned til 12,5 nm: Soft Molecular Scale nanoimprint litografi (SMS-NIL).

Basert på EVG er bevist UV-NIL-systemer, tilbyr SMS-NIL kunder med en repeterbare, kostnadseffektiv prosess for produksjon av ultra-høyoppløselige mønster på store-området flater. Ved hjelp av ny teknologi myke jobber stempel nanoimprint prosessen, kan kundene utføre full-området nanoimprints og optisk justert UV-NIL på eksisterende EVG utstyr. Likeledes kan stempel og imprinting bli behandlet på samme verktøyet uten å kreve ytterligere behandling trinn sparer kunder betydelig bearbeiding tid og penger.

UV-NIL tilbyr en betydelig lavere behandling kostnad enn andre nano-mønster teknikker, gjør det til en attraktiv løsning for CMOS-bildesensorer, micro linse støping og andre optiske applikasjoner der teknologien er allerede i bruk. SMS-NIL tar denne tilnærmingen et skritt videre, sysselsetter myk polymere arbeider frimerker for å unngå skader på kostbare mester frimerker. Stempelet materialets iboende egenskaper i stor grad redusere risikoen for mekanisk skade å mestre maler, og dermed forlenge deres levetid. Arbeidsgruppen frimerker 'relativt lav overflate energi forenkler separasjon fra underlaget etter imprinting prosessen, mens deres fleksibilitet gjør at frimerker brukes til flere avtrykk.

Gerald Kreindl, produktsjef for nanoimprint litografi ved EV Group, sa: "For mer enn 10 år, har vi opprettholdt en sterk teknologi fokus på nanoimprint litografi og varmt preging. SMS-NIL er kulminasjonen av vår innsats for å løse kundenes utfordringer i dette området ved å lage den ultra-høy oppløsning mønster de trenger i en prosess som er repeterbare og viser store løftet for kostnadseffektive høy-volum produksjon. Denne nye teknologien funksjonen er et steg i EV konsernets mål om å styrke vår eksisterende teknologiløsninger mens forfølge cutting-edge forskning og utvikling for nye produkter og applikasjoner. Denne teknologien innføring er også et viktig skritt i å kommersialisere nanoimprint litografi som en lav kostnad, høy gjennomstrømming, ultra-høy oppløsning litografi teknikk. "

EV Group tilbyr to fleksible kjøpsopsjoner for SMS-NIL. Kunder som er interessert i å produsere arbeidsmiljøet frimerker in-house kan kjøpe EV konsernets prosessteknologi konsulenttjenester til å aktivere sin egen applikasjonsutvikling. EV Group tilbyr også mulighet til å kjøpe jobbe frimerker klar for behandling. Den nye teknologien er kompatibel med EVG velprøvde UV-baserte imprinting systemer, inkludert EVG620, EVG6200, IQ Aligner og EVG770.

De som er interessert i å lære mer om EVG SMS-NIL teknologi og bred portefølje av wafer liming og litografi utstyr er invitert til å besøke bedriften i løpet av niende internasjonale konferansen om nanoimprint og Nanoprint Technology (NNT), 13-15 oktober 2010, på First Hotel Skt. Petri, København, Danmark.

Kilde: http://www.EVGroup.com/

Last Update: 10. October 2011 11:36

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit