Carl Zeiss ו Synopsys שיתוף פעולה על מטרולוגיה In-Die רישום Photomask ייצור

Published on October 28, 2010 at 7:06 PM

Carl Zeiss SMS GmbH , ספקית מובילה של המטרולוגיה photomask כלי תיקון Synopsys, Inc (סימול: SNPs), מובילה עולמית בתחום תוכנה ו-IP לאימות עיצוב, ייצור מוליכים למחצה, הודיעה היום על שיתוף פעולה כדי לפרנס את המשפחה כלי ZEISS עבור ב-למות פתרונות מטרולוגיה עבור 32 ננומטר (ננומטר) הצומת הטכנולוגיה להלן.

Synopsys תציע תמיכה ZEISS "להוכיח ™, הדור הבא של כלי מדידה אחת, דרך Synopsys '™ חתולים, הטכנולוגיה המובילה מסכה נתונים פתרון הכנה. שימוש חתולים כמנוע נתונים הכנה, מהנדסים מסכה באמצעות להוכיח יכולים להפיק תועלת יעילות ושימושיות משופרת של מערכת רישום המטרולוגיה העומדת בדרישות מחמירות דיוק כיסוי.

נתונים מסכת הכנה על ידי חתולים תחזק עוד יותר את היעילות של להוכיח.

תיקון חזק קרבה אופטיים טכניקות דפוסים כפולה, נדרש להרחיב 193 ננומטר ליתוגרפיה לבלוטות הטכנולוגיה הבאה, הביקוש גדול דפוס photomask דיוק מיקום. המערכת החדשה להוכיח עונה על דרישות אלה עלו עם הרעיון המהפכני שלו של 193 ננומטר אופטיקה תאורה. זה מספק יכולת למות המטרולוגיה למדידת התכונות הייצור הקטן ללא הצבת סימני אחת, דבר המאפשר לקובעי מסכה כדי למדוד ולנתח רישום בתחומים קריטיים על המסכה.

המודול חתולים חדשים, כיום זמינות לקוח מוגבל זמין בדרך כלל מרס 2011, מאפשר זרימה מהירה, יעילה אוטומטי לחלוטין להתקנה של עבודות photomask המטרולוגיה. באמצעות פורמטים סטנדרטיים בתעשייה לפתוח OASIS.MASK ו-XML, יכולות מתקדמות סימון מוכיחים דו ממדי (2D) שיטת הקורלציה, חתולים מציע שיפור משמעותי לתכניות ניתוח קונבנציונאלי התמונה. השיטה החדשנית משווה קליפים עיצוב 2D של המסכה מסופק על ידי חתולים עם תמונות על המסכה בשבי להוכיח, וכתוצאה מכך דיוק המדידה גבוה יותר לעומת השיטות הסטנדרטיות באמצעות מדידות 1D מבוסס על הקצוות בלבד.

"עם" ניסיון ארוך טווח לקראת מסכה נתונים Carl Zeiss "Synopsys וידע המטרולוגיה ב-למות, מודול חתולים חדשים עם יכולות מרגש שלה באופן משמעותי לעזור להפחית טעויות רישום מסכה על תכונות ייצור שרירותי", אמר ד"ר דירק בייר, מנהל מוצר עבור להוכיח ב Carl Zeiss SMS GmbH.

טעויות רישום כעת ניתן לכמת עבור כל מסכה ללא הגבלת רזולוציה, מתן יצרני מסכה כלי חדש לחלוטין עבור הפחתת שגיאות מיקום דפוסים כפולה ומסיכת ל-מסכה כיסוי.

"Synopsys" שיתוף הפעולה עם Carl Zeiss מדגימה את מחויבותנו להציע ליתוגרפיה בדיקה מקיפה, פתרונות המטרולוגיה לשוק ייצור המסכה ", אמר פאביו Angelillis, סגן נשיא הנדסה Synopsys 'קבוצת הנדסה הסיליקון. "על ידי הארכת חתולים לתמוך להוכיח, אנו מספקים פתרונות המטרולוגיה באיכות גבוהה ללקוחות שלנו בצומת 32 ננומטר הטכנולוגיה למטה", הוסיף.

Last Update: 3. October 2011 13:10

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit