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칼 Zeiss와 Synopsys는 Photomask 제조를 위한 에서 거푸집 등록 도량형학에 공저합니다

Published on October 28, 2010 at 7:06 PM

, 주요한 공급자와 Synopsys Gmbh, photomask 도량형학과 수선 공구를 위한 칼 Zeiss SMS Inc. (NASDAQ: SNPS), 소프트웨어에 있는 세계 지도자 및 반도체 디자인, 검증 및 제조를 위한 IP는, 오늘을 위한 이하의 에서 거푸집 도량형학 해결책 32 나노미터 기술 마디를 위한 ZEISS 공구 가족을 (nm) 지원하기 위하여 협력을 알렸습니다.

Synopsys는 ZEISS' PROVE™ 의 차세대 등록 도량형학 공구를 위한 지원을, Synopsys' CATS™를 통해, 기술 주요한 가면 데이터 준비 해결책 제안할 것입니다. 데이터 준비 엔진으로 고양이를 사용하여, PROVE 사용해 가면 엔지니어는 엄격한 오바레이 정확도 요구에 응하는 등록 도량형학 시스템의 향상한 효율성 그리고 유용성으로부터 혜택을 받을 수 있습니다.

고양이에 의하여 가면 데이터 준비는 PROVE의 효율성을 더 강화할 것입니다.

다음 기술 마디까지 193 nm 석판인쇄술을 확장할 것을 요구된 강한 광학적인 근접 개정 및 두 배 모방 기술은, 더 중대한 photomask 패턴 배치 정확도를 요구합니다. 시스템이 193 nm 조명 광학의 그것의 기공 개념을 가진 이 수요 증가를 충족시킨다는 것을 새로운 것 입증합니다. 그것은 등록 표를 두기 없이 가장 작은 생산 특징의 측정을 위한 에서 거푸집 도량형학 기능을 전달해, 가면에 중요한 지역에 있는 등록을 측정하고 분석하는 가면 제작자를 가능하게 하.

한정된 고객 가용성에서 새로운 고양이 모듈은, 지금 2011년 3월에서 일반적으로 사용 가능한, photomask 도량형학 일의 준비를 위한 단단, 능률 적이고 완전히 자동화한 교류를 가능하게 합니다. 업계 표준 열리는 체재 OASIS.MASK와 XML를 사용하여, 향상된 표하기 기능이 및 증명 2차원 (제 2) 상호 관계 방법 의 고양이는 전통적인 심상 분석 계획에 중요한 증진을 제안합니다. 혁신적인 방법은 심상과 가장자리에서만 근거를 둔 1D 측정을 사용하여 표준 방법과 비교된 더 높은 측정 정확도의 결과로 PROVE에 의해, 붙잡은 가면에 고양이가 제공한 가면의 제 2 디자인 클립을 비교합니다.

"Synopsys' 에서 거푸집 도량형학에 있는 가면 데이터 준비와 칼 Zeiss' 노하우에 있는 장기 경험에, 그것의 활발한 기능에 새로운 고양이 모듈은 중요하게 임의 생산 특징에 가면 등록 오류를 감소시키는 것을 도울 것입니다," 박사를 말했습니다 더크 Beyer, Gmbh 칼 Zeiss SMS에 PROVE를 위한 생산 매니저.

등록 오류는 지금 해결책 제한 없이 각 가면을 위해 양이 정해질 수 있어, 가면 제조자에게 두 배 모방 및 가면 에 가면 오바레이에 있는 배치 과실을 감소시키기를 위한 완전히 새로운 공구를 주.

칼 Zeiss와 가진 "Synopsys' 협력 포괄적인 석판인쇄술, 검사 제안에 우리의 투입을 궁행하고 가면 제조에 도량형학 해결책은"는, 말했습니다, Fabio Angelillis를 단을 설계해 Synopsys를 위한 기술설계의 부사장' 실리콘을 시장에 내놓습니다. "지원까지 고양이를 연장해서 입증하십시오, 우리는 32 나노미터 기술 마디에 우리의 고객에게 고품질 도량형학 해결책을 전달하고 있습니다 이하에," 그는 덧붙였습니다.

Last Update: 11. January 2012 21:47

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