Site Sponsors
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions

ISMI, de Instrumenten van Oxford Sluit zich aan voor Deklaag bij de Wafeltjes van het 450 mmSilicium met SiO2 Films PECVD

Published on January 6, 2011 at 3:45 AM

In samenwerking met ISMI, hebben de technologie en toepassingenteams bij de Technologie van het Plasma van de Instrumenten van Oxford 450mm siliciumwafeltjes met PECVD SiO2 - een wereld eerst met een laag bedekt.

De wafeltjes werden verwerkt gebruikend het onlangs gelanceerde systeem PECVD van PlasmaPro® NGP®1000 van de Instrumenten van Oxford, dat voor substraten van het deklaag de enige wafeltje tot 450mm diameter of grotere partijen kleinere diameterwafeltjes geschikt is.

Mike Cooke, de Belangrijkste Ambtenaar van de Technologie bij de Technologie van het Plasma van de Instrumenten van Oxford, is uiterst pleased met de resultaten.  „Onze samenwerking met ISMI en Semilab gaf ons toegang tot 450mm wafeltjes en de eerste kans voor partners om lagen op dergelijke wafeltjes te deponeren en te meten,“ hij zei.  De wafeltjes bij de Instrumenten van Oxford worden verwerkt zullen in het programma van de Generatie van het Wafeltje van de Test van ISMI worden gebruikt om de ontwikkeling van toe te laten 450mm verwerken en metrologiehulpmiddelen dat. De SiO2 uniformiteit van de filmdikte zou moeten ±3% bereiken gebaseerd die op metingen uit partijen kleinere diameterwafeltjes worden genomen.

ISMI momenteel bouwt de infrastructuur voor de overgang aan 450 mm als deel van zijn portefeuille van programma's toepassingsgericht aan het verbeteren van productiviteit en het drukken van kosten in fabs van vandaag en van morgen. ISMI 450 mm- Programma is geëngageerd aan het toelaten van een rendabele overgang door coördinatie en ontwikkeling van infrastructuur, begeleiding, en de industriebereidheid.

De Instrumenten van Oxford is ook betrokken bij het project EEMI 450mm, specifiek in de ontwikkeling van 450mm ets hulpmiddelen. Het project steunt de migratie aan de grotere wafeltjegrootte en is bedoeld om competiveness van Europese de industrie en onderzoekinfrastructuur te versterken. Het project wordt gesteund door de Gezamenlijke Onderneming ENIAC en de Raad van de BRITSE Strategie van de Technologie.

Bron: http://www.oxinst.com/

Last Update: 11. January 2012 13:35

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit