Камероном Chai
ΜPG101 от Технологий Гейдельберга дружественное и рентабельный микро- генератор картины который соответствующ для сразу пишет применения и делать маски малого объема.
Идеально для быстрого забора плоских и трехмерных микроструктур на субстратах до 4x4inches. Оно может показать высокие конструкции разрешения с характеристиками одного микрона и также отличает решеткой адреса измеряя 40nm.
Платформа была установлена в STMicroelectronics' Больше Чем Исследовательские Лабаратории Moore расположенные в Agrate Brianza для того чтобы помочь создать образцы приборов microfluidics, котор нужно использовать в применениях как медицинские диагностики и Лаборатори-На-обломок.
Аппаратуры Гейдельберга изготовляют платформы литографированием точности maskless. Системы применимы в процедурах по сразу сочинительства и photomask университетами и индустриях в MEMS, BioMEMS, Nano Технологии, ASICS, TFT, Дисплеях Плазмы, и Микро- Оптике.
Источник: http://www.st.com