Posted in | Nanoenergy

Кембридж NanoTech Поставляет 40th Систему Плазмы ALD Фиджии

Published on June 24, 2011 at 2:39 AM

Камероном Chai

Кембридж NanoTech объявляло поставку своей системы Низложения Слоя 40th Плазмы Фиджии (ALD) Атомной. ALD использовано в технологиях как освещение и дисплей, накопление энергии, и микроэлектроника.

Кембридж NanoTech направляет улучшить индустриализацию и исследование ALD. В 2009, компания изготовила систему Фиджии для предусмотрения исключительнейшей гибкости и легкого использования в экспириментально процессах. Инструмент Плазмы ALD apt для научных работников и исследователей включенных в производить ультратонкие покрытия которые цифрово - проконтролировано, штыр-отверстие свободно, плотная, и сильно точное.

Система плазмы ALD компании соответствующа для обрабатывать несколько нитридов, окиси, металлы как платина, titanium нитрид, и другие материалы. Полученные рецепты плазмы предлагают значительно уменьшенные температуры для низложения платины и меньше резистивности titanium нитрида.

Согласно Laurent Фрэнсису, руководитель Микросистем для UCL, дирижировать исследование на catholique de Louvain Université (UCL) они изыскивало для высоких-k конформных тонких фильмов депозированных на комнатной температуре. Кембридж NanoTech пришло вперед с хорошо отработанный инструментом позволяющ более обширный ряд материального выбора увеличить научную работу. Кембридж NanoTech представило поддержку для того чтобы установить инструмент Фиджии F200 и метод ALD на UCL.

Система Фиджии ALD позволяет исследователя депозировать материалы на меняя условиях как повсюду температуры, предложенное Джила S. Беккера, президент и основателя Кембриджа NanoTech. Система обеспечивает некоторые дополнительные характеристики как модуль группы для внедрения автоматизации, высокотемпературный модуль для испытывать пробует до 800°C, и вафля плюс модуль для больш-определенных размер образцов, он добавил.

Источник: http://www.cambridgenanotech.com

Last Update: 12. January 2012 13:25

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit