Posted in | Nanofabrication

Suss Microtec Iværksættelse af første Holistisk In-Fab EUVL Mask Management System

Published on July 13, 2011 at 8:48 PM

I dag Suss Microtec , en global leverandør af udstyr og procesløsninger til halvlederindustrien og beslægtede markeder lancerede sin nye MaskTrack Pro InSync - den første holistiske in-fab EUVL maske management tilbyder. MTP InSync er en stand-alone eller klynger håndtering system, der problemfrit synkroniserer maske rengøring, håndtering, kontrol og oplagring i et enkelt kontrolleret miljø. MTP InSync opererer i et nul partikel regime bevare perfekte maske integritet ved indrejse i vakuum miljø i EUVL Scanner.

"EUV litografi stiller enorme krav til masken integritet på point-of-eksponering," siger Frank P. Averdung, præsident og CEO for Suss Microtec AG. "Kun MaskTrack Pro InSync, leverer den nødvendige teknologi for at opnå et nul-partikel maske ledelsesmæssige miljø, og gør det muligt for chip-producenter til at udnytte vigtige litografi scanneren tilgængelighed. Denne state-of-the-art maske management system etablerer vores fortsatte forpligtelse til at give vores kunder en maske integritet infrastruktur til næste generation litografi. "

Den MaskTrack Pro InSync er den første og eneste maske management system til rådighed på markedet, der kan interface direkte med de specifikke EUV Dual Pod i et fuldt kontrolleret miljø. Designet til at klynge maske rengøring, maske overførsel og opbevaring af de vigtige indre pod i et uberørt miljø, såvel som den valgfri integration af en partikel detection system og indre pod rengøring, MTP InSync giver en samlet tilgang til at maskere håndtering i hele levetid maske. MTP InSync design muliggør direkte overførsel af Dual Pod fra scanneren til MaskTrack Pro reticle rengøring af værktøj.

Afsendelse af den første MTP InSync til IMEC i Belgien er planlagt i august 2011.

Last Update: 12. October 2011 09:36

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit