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Posted in | Nanofabrication

Sistema di Gestione In-Favoloso Olistico della Maschera In Primo Luogo EUVL di SUSS MicroTec del Lancio

Published on July 13, 2011 at 8:48 PM

Oggi SUSS MicroTec, un fornitore globale di attrezzature e delle soluzioni di trattamento per l'industria a semiconduttore ed i servizi relativi, ha lanciato il suo nuovo MaskTrack Pro InSync - la prima offerta in-favolosa olistica della gestione della maschera di EUVL. MTP InSync è un sistema di trasporto autonomo o ragruppato che senza cuciture sincronizza la pulizia, la manipolazione, l'ispezione e l'archiviazione della maschera in un singolo ambiente controllato. MTP InSync funziona in un regime zero della particella che mantiene l'integrità perfetta della maschera quando fornisce l'ambiente di vuoto dello Scanner di EUVL.

“La litografia di EUV colloca le domande tremende su integrità della maschera all'punto-de-esposizione,„ ha detto P. Averdung, Presidente e direttore generale Franco MicroTec AG di SUSS. “Soltanto MaskTrack Pro InSync, consegna la tecnologia necessaria per raggiungere un ambiente zero della gestione della maschera della particella, permettendo ai chipmaker di sfruttare la disponibilità importante dello scanner della litografia. Questo sistema di gestione avanzato della maschera stabilisce il nostro impegno continuato a fornire ai nostri clienti un'infrastruttura di integrità della maschera per la Litografia di Next Generation.„

Il MaskTrack Pro InSync è il primo e soltanto il sistema di gestione della maschera disponibili nel servizio che può collegare mediante interfaccia direttamente al Baccello Doppio specifico di EUV ad un in un ambiente controllato a piena. Ha Progettato per ragruppare la pulizia della maschera, il trasferimento della maschera e l'archiviazione del baccello interno importante in un ambiente incontaminato come pure l'integrazione facoltativa di un sistema di rilevamento della particella e di una pulizia interna del baccello, MTP InSync fornisce un approccio unificato alla gestione della maschera durante la vita della maschera. La progettazione di MTP InSync permette il trasferimento diretto del Baccello Doppio dallo scanner nel Pro strumento di pulizia del reticolo di MaskTrack.

La Spedizione del primo MTP InSync a imec nel Belgio è preveduta nell'agosto 2011.

Last Update: 12. January 2012 16:22

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