Site Sponsors
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
Posted in | Nanofabrication

SUSS MicroTec Запуск первых Целостный В-Fab EUVL Маска системы управления

Published on July 13, 2011 at 8:48 PM

Сегодня SUSS MicroTec , мировым поставщиком оборудования и технологических решений для полупроводниковой промышленности и смежных рынков, запустила свой ​​новый MaskTrack Pro InSync - первое целостное в фабрику EUVL маску управления предлагают. MTP InSync является автономной или кластерной системы обработки, которая совершенно незаметно синхронизирует маска очистки, обработки, контроля и хранения в одной контролируемой среде. MTP InSync работает в режиме нулевого частиц поддержания идеальной целостности маску при входе в вакуумной среде EUVL сканера.

"EUV-литографии местах огромные требования к маске целостность при точках контакта", сказал Франк П. Averdung, президент и главный исполнительный директор SUSS MicroTec AG. "Только MaskTrack Pro InSync, предоставляет технологии, необходимые для достижения нулевой частицы маски управления окружающей средой, что позволяет чипов извлечь выгоду из важных наличии сканер литографии. Такое положение дел в современной системе управления маска устанавливает нашу неизменную приверженность предоставлению нашим клиентам Маска целостность инфраструктуры для следующего поколения литографии ".

MaskTrack Pro InSync это первая и единственная система, маски управления, доступных на рынке, которые могут напрямую взаимодействовать с конкретным EUV Двойной Pod в полностью контролируемой среде. Предназначен для кластера очистки масок, передачи маски и хранения важной внутренней стручок в нетронутой природы, а также дополнительно интеграция системы регистрации частиц и внутренней очистки стручок, ССП InSync обеспечивает единый подход к управлению маску в течение всей жизни маска. Дизайн MTP InSync позволяет прямую передачу Двойной Pod от сканера к сетки MaskTrack механическая очистка Pro.

Отгрузка первого InSync MTP для IMEC в Бельгии планируется в августе 2011 года.

Last Update: 9. October 2011 19:06

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit