Posted in | MEMS - NEMS

Mengembangkan Imec Poli-SiGe Perangkat MEMS Selama Cu-Backend CMOS

Published on October 12, 2011 at 4:59 AM

Oleh Cameron Chai

Imec, sebuah perusahaan riset nanoelectronics, telah mengembangkan sensor CMOS yang terintegrasi polikristalin SiGe tekanan piezoresistif.

SEM penampang gambar dari sensor yang terintegrasi. Di bagian bawah, dua garis logam Cu dari sirkuit CMOS dapat diamati. Di atas, lapisan MEMS (membran poli-SiGe dan piezoresistors, lapisan oksida penyegelan dan logam interkoneksi) yang terlihat.

Bila dibandingkan dengan poli-Si, SiGe polikristalin lebih menjanjikan sebagai bahan MEMS struktural. Hal ini memungkinkan pengolahan pasca di atas 0,13 pM CMOS dengan Cu-backend. Hal ini memberikan sifat mekanik yang diperlukan pada temperatur yang lebih rendah. Pendekatan terakhir MEMS memungkinkan integrasi MEMS tanpa perubahan apapun dalam proses normal pengecoran CMOS dan memfasilitasi daerah die lebih kecil. Poli-SiGe menyediakan teknologi yang lebih fleksibel dan generik untuk CMOS-MEMS integrasi monolitik.

Imec sebelumnya membuktikan kemampuan poli-SiGe untuk MEMS atas integrasi aluminium-backend CMOS, dan sekarang sudah diganti dengan tembaga aluminium. Sensor Imec memiliki empat poli-SiGe piezoresistors, penguat instrumentasi dibuat menggunakan 0,13 pM teknologi CMOS, sensor tekanan piezoresistif yang telah permukaan-micromachined, tungsten-diisi vias, dielektrik oksida dan Cu-interkoneksi. Pengolahan maksimum suhu dari sensor dijaga dibawah 455 º C untuk memfasilitasi integrasi CMOS. Proses ini meliputi penambahan lapisan passivasi untuk menjaga sirkuit elektronik dari deposisi dan etsa langkah yang diperlukan untuk perangkat MEMS fabrikasi. Pengolahan MEMS tidak memburuk sirkuit CMOS. Sensor poli-SiGe piezoresistif menunjukkan sekitar 2,5 mV / V / bar sensitivitas dan ketika itu terintegrasi dengan penguat Cu berbasis CMOS itu menunjukkan sensitivitas 64 kali lebih dari 158 mV / V / bar.

Sumber: http://www2.imec.be/be_en/

Last Update: 19. October 2011 01:40

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit