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Silex AMFitzgerald 공동체정신은 MEMS 디자인의 급속한 상품화를 가능하게 합니다

Published on November 5, 2011 at 3:37 AM

Cameron 차이의

다년간 협력은 50%에 의해 MEMS 장치를 위한 개발 시간에 있는 감소로 이끌어 냈습니다. Silex Microsystems, 순수하 실행 MEMS 주조, 그리고 AMFitzgerald는 협력에서, MEMS 제품 개발을 위한 해결책의 공급자 파트너가 되었습니다.

AMFitzgerald는 MEMS 장치에 있는 증가한 기능 그리고 더 작은 형태 인자를 가능하게 하는 기술 플래트홈Sil 을 통해 Silex에 제공한 접근이었습니다. 가득 차있 웨이퍼 간격을 통해이어서, 플래트홈Sil 을 통해 Silex는 고립시키는 물자에 의해 둘러싸이는 DRIE에 의하여 식각된 지점으로 이루어져 있습니다. 이것은 기술을 통해 안으로 금속 기지를 두어 발생하는 열 미스매치를 피하는 낮은 임피던스에 기계적으로 강력한 내부 연락으로 이끌어 냅니다. 플래트홈Sil 을 통해 Silex는 저가 및 더 작은 형태 인자로 이끌어 내는 가장 새로운 를 통하여 실리콘 vias 포장 기술을 이용합니다. 그것은 포장하는 웨이퍼 수준을 위해 뿐 아니라 MEMS 가공을 위해 사용될 수 있습니다.

협력은 Silex 6에 있는 대량 생산을 위해 in 자세를 취하는 많은 MEMS 디자인의 더 단단 완료로 이끌어 냈습니다. 그리고 8 in. 제작 기능. 그 같은 MEMS 계획사업을 위한 전형적인 계획사업 완료 시간은 협력은 6 달에 있는 계획사업을 완료했는 그러나, 년을 인수합니다.

시제품 단계에서 MEMS 발달에 있는 포장 해결책의 통합은 급속하게 대량 생산으로 점진하고 움직이기 위하여 고객을 촉진할 것입니다. 의학과 생물공학 전투지역은 MEMS 장치의 그들의 이용을 증가할 것으로 예상됩니다. 2011년 4월 동안 Yole 발달 MEMS 보고는 생물 MEMS 2016년에 $5십억을 초과하기 위하여 시장을 예상해, 24%에 2011년에 $1.75십억에서 매년 증가하.

작은 형태 인자 및 고밀도 IO를 필요로 하는 유사한 소집 기지를 둔 센서와 화상 진찰 또는 진단 소집 가 있는 생물 MEMS 응용에는 다년간 협력으로부터 혜택을 받을 것입니다. 압력 센서, 광학적인 센서, 운동 측정기 및 진동자를 포함하여 그밖 센서 응용은 또한 이 협력에서 얻을 수 있습니다.

근원: http://www.silexmicrosystems.com/

Last Update: 12. January 2012 12:05

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