I Materiali Applicati Rivela l'Ispezione Completamente automatica SEM di Difetto per Produzione Rapida del Chip

Published on December 8, 2011 at 2:01 AM

Da Cameron Chai

I Materiali Applicati ha stabilito la sua presenza nella tecnologia del microscopio elettronico a scansione di ispezione (SEM) di difetto con l'introduzione dello strumento primo de suo gentile chiamato il sistema Applicato di SEMVision G5 che permette i produttori di chip all'immagine e studiano 20 imperfezioni dilimitazione di nanometro senza interferenza manuale.

Sistema Applicato di SEMVision G5

Il sistema di SEMVision G5 può immagine ed individuare le imperfezioni giù a 1 dimensione del pixel di nanometro. Con il sistema, i clienti di logica e di memoria possono ora migliorare la loro produzione ed individuare precisamente e rapido la causa delle imperfezioni. Con la sua qualità senza precedenti di immagine, avanzata 1 dimensione del pixel di nanometro e motore potente di ispezione, il sistema di DR-SEM individua ed esamina le imperfezioni nei livelli di modello complessi, mentre migliora l'output.

Il sistema di SEMVision G5 imposta la differenziazione unica di standard reali ed i falsi allarmi o nella rilevazione dei difetti di fastidio. La Sue accuratezza e velocità di operazione sono ben migliori di un operatore specializzato, facente i clienti esamina rapidamente più numero dei wafer, che a sua volta migliora le tariffe di rampa del rendimento ed i cicli dell'apprendimento.

La piattaforma dell'architettura Aperta, il sistema di SEMVision G5 permette la fusione delle informazioni ottenuta da un'unità di ispezione del wafer con una collezione di strategie di ispezione predefinite. Il sistema elimina la necessità di creare manualmente le strategie, mentre può generare automaticamente le strategie di ispezione, in base al tipo di chip da esaminare. Questa funzionalità aiuta le società della fonderia a raggiungere la produzione rapida del loro intervallo delle progettazioni di chip con ad alto rendimento.

Materiali superiori dei mani libere Applicati' e Direttore Generale Corporativi per la divisione di affari Trattata di Controllo e di Sistemi Diagnostici, Itai Rosenfeld ha specificato quello con il suo il Vicepresidente approccio e funzionalità della rappresentazione, i clienti di guide del sistema di SEMVision G5 fanno diminuire il tempo di servizio-estensione, che è importante da raggiungere i brevi cicli di prodotto.

Sorgente: http://www.appliedmaterials.com

Last Update: 12. January 2012 14:29

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