Pedidos do Lugar dos Membros da Parceria do IEM de SEMATECH para Ferramentas dos ALVOS EUV de Carl Zeiss'

Published on April 27, 2012 at 2:19 AM

Por Cameron Chai

De acordo com suas atribuições do entalhe, duas empresas do membro da Parceria do IEM de SEMATECH que compreende o TSMC, Samsung Electronics, Intel e GLOBALFOUNDRIES colocaram pedidos para comprar a ferramenta dos ALVOS EUV, uma solução aérea actínica da metrologia da imagem da Divisão de Sistemas da Metrologia do Semicondutor (SMS) de Carl Zeiss.

Carl Zeiss SMS teamed acima com departamento de sistema ótico do varredor do Sistema Ótico, do Carl Zeiss SMT da Litografia, e sócios externos na revelação da ferramenta dos ALVOS EUV. O Director Administrativo de Carl Zeiss SMS principal', Dr. Oliver Kienzle indicou que estes pedidos são um marco no avanço da ferramenta dos ALVOS EUV e sublinha o significado da tecnologia de EUV na indústria. A empresa antecipa pedidos das empresas restantes do membro de acordo com suas atribuições do entalhe assinadas durante o lançamento do consórcio do IEM.

A ferramenta dos ALVOS EUV é uma plataforma chave para fabricar máscaras defeito-livres de EUVL para as 22 necessidades do nó da tecnologia do metade-passo do nanômetro, com escalabilidade ao nó da tecnologia do metade-passo de 16 nanômetro. O primeiro modelo produção-digno da plataforma é esperado ser entregado no Q3 de 2014.

Em 2010, SEMATECH tinha estabelecido o IEM para desenvolver as ferramentas chaves da metrologia com o financiamento a fim avançar EUV no campo da produção da máscara. O IEM é controlado pelo Programa da Litografia de SEMATECH, que é baseado na Universidade na Faculdade de Albany da Ciência e da Engenharia de Nanoscale.

SEMATECH iniciou o projecto chave do IEM primeiro assinando um negócio da parceria com Carl Zeiss para desenvolver e fabricar o sistema aéreo actínico primeiro--seu-amável da metrologia EUV da imagem para a produção em massa de EUVL.

Source: http://www.zeiss.com

Last Update: 27. April 2012 03:25

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit