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Posted in | Nanolithography

TSMC Certifica el Producto del Calibre LFD del Mentor para Su Proceso 20nm

Published on September 14, 2012 at 6:03 AM

Por la Voluntad Soutter

La Compañía de Fabricación del Semiconductor de Taiwán (TSMC) ha certificado la litografía de aprobación del Diseño Cómodo (LFD) de Litho del Calibre que controlaba la herramienta desarrollada por los Gráficos del Mentor para la verificación de su proceso de fabricación de 20 circuitos integrados del nanómetro.

La herramienta del Calibre LFD se puede utilizar para controlar si el diseño de circuito permite la ventana de proceso adecuada y también para detectar apuroses. En la manufactura de circuitos integrados, la corrección óptica de la proximidad se emplea durante el escenario de la máscara del proceso para rectificar características con las ediciones. Para esas características que no se puedan rectificar por el método ya mencionado, la herramienta del Calibre LFD activa la identificación de los defectos en el escenario de diseño y asegura la rectificación antes de tapeout. La verificación de la litografía del pre-tapeout elimina retrasos en estados avanzados de fabricación como resultado de reajuste y también las ayudas evitan fabricar ediciones referente a la litografía.

La verificación de la litografía de Pre-tapeout se convirtió en la norma de la industria con la llegada de 40 y 28 procesos de fabricación del nanómetro. La misma práctica continúa para el proceso de 20 nanómetro. Joe Kwan, Gerente de Marketing de Producto en los Gráficos del Mentor para el Calibre LFD y DFM Abastece, declarado que han estado trabajando conjuntamente con la derecha de TSMC del inicio del proyecto de desarrollo que controlaba de proceso del litho (LPC) de TSMC para incorporar la herramienta del Calibre LFD con el Diseño integrado para Fabricar (DFM) el motor de TSMC. Suk Lee, Director Mayor, División del Márketing de la Infraestructura del Diseño en TSMC declaró que los socorros del LPC en controlar 20 diseños del nanómetro con modelar doble para saber si hay conformidad a los requisitos de DFM y también eliminaría apuroses referente a la litografía. Él cree que la combinación de su motor y Calibre LFD de DFM proporcionará a controlar exacto de la litografía.

Fuente: http://www.mentor.com/

Last Update: 14. September 2012 07:01

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