Site Sponsors
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
Posted in | Nanolithography

TSMC Аттестует Продукт Калибра LFD Ментора для Своего Процесса 20nm

Published on September 14, 2012 at 6:03 AM

Волей Soutter

Компания Обрабатывающей Промышленности Полупроводника Тайвани (TSMC) аттестовала литографирование signoff Конструкции Litho (LFD) Калибра Содружественное проверяя инструмент развитый Графиками Ментора для проверки своего процесса производства 20 интегральных схема nm.

Инструмент Калибра LFD можно использовать для того чтобы проверить если расчет цепи позволяет адекватнему отростчатому окну и также обнаружить Точки доступа. В изготовлении интегральных схема, оптически коррекция близости использована во время этапа маски процесса для того чтобы выпрямить характеристики с вопросами. Для тех характеристик которые не могут быть выпрямлены вышесказанным методом, инструмент Калибра LFD включает идентификацию дефектов в этапе конструкции и обеспечивает выпрямление перед tapeout. Проверка литографированием pre-tapeout исключает задержки в более поздняя стадия изготавливания в результате переконструкции и также помощь во избежание изготовить вопросы вследствие литографирования.

Проверка литографированием Pre-tapeout стала нормой индустрии с появлением 40 и 28 процессов производства nm. Такая же практика продолжается для процесса 20 nm. Джо Kwan, Менеджер Маркетинга Товара на Графиках Ментора для Калибра LFD и DFM Обслуживает, заявлено что они работало совместно с правом TSMC от начала проекта развития litho TSMC отростчатого (LPC) проверяя для того чтобы включать инструмент Калибра LFD с интегрированной Конструкцией для Изготовлять (DFM) двигатель TSMC. Suk Ли, Старший Директор, Разделение Маркетинга Инфраструктуры Конструкции на TSMC заявило что помощь LPC в проверять 20 конструкций nm с двойной делать по образцу для соответствия к требованиям к DFM и также исключило бы Точки доступа вследствие литографирования. Он верит что сочетание из их двигатель DFM и Калибр LFD предусмотрит точный проверять литографирования.

Источник: http://www.mentor.com/

Last Update: 14. September 2012 07:01

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit