Site Sponsors
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
Posted in | Nanofabrication

Ha som huvudämne Genombrottet i EUV Maskerar Förbigår Hoppar av Förminskning med det Veeco IBD Systemet

Published on September 15, 2012 at 7:59 AM

Vid Cameron Chai

SEMATECH en landskamphalvledareanslutning, som strävan till den för- halvledaren gå i flisor fabriks- till och med forskning- och utvecklingsaktiviteter som anmälas för en tid sedan ett viktigt genombrott hoppar av in, förminskning från mång--lagrar avlagringtekniken som adopteras för att bearbeta, maskerar förbigår som har applikationer i ytterlighetultravioletlithography (EUVL).

SEMATECH uppnådde det viktigt hoppar av förminskning, genom att använda NEXUSLowen, Hoppar av TäthetJonen Strålar Systemet för Avlagring som (LDD IBD) framkallades av Veeco, Instrumenterar.

EUV maskerar fabriceras, genom att använda jonen, strålar avlagring bearbetar. En gå i flisor planläggs på ett halvledarerån, genom att projektera nanometerfjäll, mönstrar på EUVEN maskerar på halvledarerånet. Det processaa necessitates strängt hoppar av kontrollerar för EUVEN maskerar, därför att en maskerar kunde användas under dess livstid för att mönstra mer än, sex miljon halvledare gå i flisor. Strömmen och kommande utvecklingar av mobila apparater använder gå i flisor med mindre geometrier och kräver också dem att presentera kick - den jämna kapaciteten och att driva. Detta är var EUV maskerar inkorporerande avancerad teknologi kommer in i föreställa.

Två kritiska aspekter som reglerar utvecklingen av avancerade photomasks för teknologi EUV för singel, såväl som multilayer bearbetar är färdiga kontrollerar över optisk rekvisita, och mycket låg som består av partiklar avlagring jämnar. IBD-systemen från Veeco Instrumentation gör produktionen av sådan högkvalitativt lättare filmar för avancerad EUV maskerar.

Franka Goodwin, den Tomma Chefen av Mask Hoppar av Förminskningsprogram på SEMATECH som påstås att Veecos förstklassig IBD-teknologi var det huvudsakliga medlet som möjliggjorde kritiskt filmar karakteriserad avlagring vid hoppar av mycket low jämnar, och, som uppfyller med de processaa 22na nm, hoppar av krav för EUV maskerar förbigår.

Källa: http://www.veeco.com/

Last Update: 15. September 2012 08:36

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit