牛津仪器和 MIT 宣布关于后期发展的研讨会在等离子铭刻证言和增长技术

Published on October 17, 2012 at 10:08 AM

牛津仪器等离子技术 & MIT 的微系统技术实验室 (MTL),剑桥,麻省宣布将解决最新的研究和技术在等离子的研讨会铭刻证言和增长。

在 12月的 5日此 1 个天活动,在 MIT 校园在剑桥, MA,将包括介绍,讨论和网络连接午餐,着重最新的创新。

“我们主持这些成功的研讨会全世界几年,最近在分子铸造厂, LBNL,加利福尼亚理工学院,美国,并且上海,中国和我们典型地吸引很大数量的参与者对每个活动”,说斯图尔特米歇尔,牛津仪器美国公司的 VP 销售额, “这些讨论会为学术和行业技术专家提供理想的机会给网络并且共享想法,并且我们高兴举行有微系统技术实验室的此联合会议”。

画象着作权: 牛津仪器。

研讨会将包括从关键国际研究所的报告人,讨论他们的研究: 埃尔温 Kessels,技术大学艾恩德霍芬教授; Vince 赫诺瓦,康奈尔大学。 另外,在他们的领域的专家从牛津仪器 & MTL 对最近进程和应用程序开发将告诉在一定数量的等离子过程区。

介绍包括一个整天和当前包括:

  • ALD 应用
  • 等离子 ALD 进程概览
  • MEMS 进程
  • Nanoscale 电介质蚀刻
  • PECVD & TEOS

维基 Diadiuk,运算副主任,博士,在 MTL, “在 MTL 的此活动将允许我们的学员和研究员了解处理,从专家的更多关于基本层证言和等离子在牛津仪器,虽然同样吸引从更宽的技术社区的参与者。 我们盼望受欢迎的客人到 MIT 为什么承诺是一充分和有趣日。 ”

因为安排是有限的,此研讨会是免费,但是必须事先登记。 登记安排或获得详细信息,电子邮件: nancy.crouch@oxinst.com。  

关于牛津仪器 plc

牛津仪器设计,用品和支持高技术工具和系统与一个重点在研究和行业应用。 它提供必要的解决方法提前根本物理研究和其调用到商业纳米技术应用。 创新是在牛津仪器的增长和成功后的驱动力 50 年,并且其方法是影响这些想法的成功的商品化通过带来他们销售一个及时和客户集中的方式。

从牛津大学将消磨的第一技术商业在五十年期间前,牛津仪器现在是与 1900 人员的一家全球公司全世界并且是列出的在伦敦证券交易所 (OXIG) 的 FTSE250 索引。  其目的将是新一代工具和系统主导的提供者研究和工业部门的。

这在区介入核心技术的组合例如低温、高磁场和超高真空环境,核磁反应, X-射线、电子和光学基于计量学和先进的增长、证言和蚀刻。

牛津仪器打算通过科学技术继续处理负责的发展和对我们的世界的更加深刻的理解。 其产品、专门技术和想法论及全球问题例如能源、环境、证券和健康。  

关于牛津仪器等离子技术

牛津仪器等离子技术提供灵活,可配置处理工具和前进进程微型和纳诺结构准确,可控制和可重复的工程的。 我们的系统为化合物半导体材料毫微米层外延生长,铭刻毫微米大小的功能和 nanostructures 受控增长提供处理解决方法。 这些解决方法在等离子改进的证言的核心技术基础上和铭刻,离子束证言和铭刻和基本层证言。 从紧凑独立系统的产品范围 R&D 的,通过批工具和至成群的卡式磁带对卡式磁带平台为高处理量生产处理。

Last Update: 17. October 2012 10:54

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