テキサスの州立大学でインストールされる EV のグループのウエファーの結合システム

Published on November 16, 2012 at 7:00 AM

EV のグループ (EVG)、 MEMS のナノテクノロジーおよび半導体の市場のためのウエファーの結合および石版印刷装置の一流の製造者は、今日発表しましたテキサスの州立大学で EVG501 ウエファーの結合システムをインストールしたことを。

いろいろなウエファーの結合プロセスのために設定可能である非常に適用範囲が広い R & D システムは大学のクリーンルーム機能に高度の化合物半導体およびケイ素ベースの力装置研究開発をサポートするためにインストールされていました。

「いくつかのウエファーの結合システムの完全な評価に続いて、私達は優秀な技術の機能に EVG の解決を選びました。 現実的な R & D システムはテキサスの州立大学で顕著な結果を、高圧一致および結束の整合性と」、エドウィン Piner を言いました助教授、物理学、示しました。 「EVG 強力な支持ネットワークがあり、専門にされた混合物のための結合プロセスの開発を促進するために私達は彼らのベテランプロセスチームを密接に使用します」。に

EVG501 ウエファーの結合システムは 200 mm ウエファーまで小さい基板の部分を扱うことができいろいろな結合プロセスを、陽極の、ガラスフリット、共融、拡散、融合、はんだおよび接着剤の結束のようなサポートします、また酸化物の取り外しおよび高温を含む他の上昇温暖気流プロセスは、制御された大気の下で焼けます。 システムはまた大学および R & D、また小型ボリューム製品アプリケーションのための 5 分以下の変換の時間との速く提供しま、それに理想をします再編成を。

Garrett Oakes、コメントされる EV のグループのための技術の北アメリカディレクター 「テキサスの国家を使用は今日の挑戦に解決を開発するための努力の世界中で一流大学と私達の組むことのそれ以上のステップを研究の会社示し、また未来の産業必要性に対応する探索の進歩。 私達はテキサスの州立大学との長期共同のパートナーシップに順方向に見ます」。

ソース: http://www.evgroup.com

Last Update: 16. November 2012 07:49

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