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蔡司超加 - 突破非导电样品的超高分辨率成像

Published on August 8, 2007 at 11:32 AM

卡尔蔡司SMT提出了独特的技术负责赔偿非导电样品在显微镜及分析2007年新开发的“超加”扫描电子显微镜(SEM)。对于第一次,高分辨率,稳定,无噪声图像,如陶瓷,聚合物,光纤和多样品可以得到,即使在高加速电压和高电流探头。这种技术进步是专门为满足客户的需求增加,在先进材料的分析研究,开发和测试。电荷中和的目的,一个专有的气体喷射系统,使惰性气体冲洗本地应用程序。从而,样品的静电被中和二次电子(SE),以及背散射电子(BSE)的检测变得可行。在生命科学,材料分析和半导体许多应用将受益于这方面的发展。

超加上齐全的检测系统

使用新的专有气体喷射系统,同时使用独特的镜头东南探测器以及在镜头ESB探测器业界公认的蔡司超场发射扫描电镜(能源选择性背散射)成为可能。从而首次非导电样品可以进行调查,不仅在超低压成像条件下,而且在高电压和高电流探头使用的领先的超显微镜能力的全部功能。与ASB(角度选择性背散射)为低角度揭示方向对比度以及会议厅安装埃弗哈特索恩利地形对比探测器背散射电子探测器,超加提供一个完整的检测系统,所有的应用程序以及非导电导电样品。

各种各样的客户的具体配置

为了满足不同客户的需求,新的和独特的超加系统可以适应各种各样的系统规格。选择性地,有一个80毫米的一个短短30秒的泵的时间,负载锁。也可将6轴超eucentric机动阶段为1μm的位置重复性。一个非常有用的系统功能是100μm的光束的转变,这使得无需移动样品机械的一个相当大的领域来看的调查。 OptiProbe模式使束电流从12 pA的40 nA的不断调整。此外,所谓的安静模式使关掉真空prepump,使功耗节省40%。

超加系统将于2007年10月。

Last Update: 3. October 2011 05:51

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