Site Sponsors
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Save 20% On a Jenway 7315 Spectrophotometer from Bibby Scientific

UVISEL VUV Φάση Διαμορφωμένη Φασματοσκοπικές ellipsometer Από Horiba Jobin Yvon εκτείνονταν κάτω μέχρι τα 140nm

Published on August 22, 2007 at 10:51 PM

Η εισαγωγή της φάσης UVISEL VUV διαμορφωμένο φασματοσκοπικές ellipsometer από Horiba Jobin Yvon επεκτείνει τις δυνατότητες επιδόσεων της σειράς UVISEL σε 140 nm. Αυτή η σειρά της ενέργειας αποκτά ολοένα μεγαλύτερη σημασία για το χαρακτηρισμό του εξαιρετικά λεπτών υμενίων που χρησιμοποιούνται σε νανοκλίμακα συσκευές με νανοηλεκτρονικής, nanophotonic, nanobiosensor και nanorobotic εφαρμογές.

UVISEL VUV ellipsometer

Η UVISEL VUV ellipsometer προσφέρει τον καλύτερο συνδυασμό της υψηλής απόδοσης VUV και πειραματική ευελιξία να προσδιορίσει λεπτό πάχος φιλμ και οπτικών σταθερές σε όλη την κλίμακα μήκους κύματος 140 - 826 nm. Χαρακτηριστικά του UVISEL VUV περιλαμβάνουν:

  • Ευρεία φασματική περιοχή με πολύ υψηλή ταχύτητα
  • Προηγμένος σχεδιασμός για υψηλή απόδοση στην VUV
  • Άμεση πρόσβαση δείγμα και γρήγορη φόρτωση
  • Φάση τεχνολογία διαμόρφωσης για την υψηλή ακρίβεια και την ακρίβεια των μετρήσεων
  • Εξαιρετική σήματος προς θόρυβο και λόγο σήματος προς υπόβαθρο

Για να είναι σε θέση να καλύψει αυτό το ευρύ φάσμα το όργανο πρέπει να είναι αέρα / οξυγόνου δωρεάν, και είναι αυτή απαιτήσεις που μπορεί να μειώσει το πλήθος των δειγμάτων για ορισμένα μέσα λόγω της εισροής του αέρα και την απομάκρυνσή του, όταν το δείγμα τοποθετείται και αφαιρούνται από τα μέσα.

Για να ελαχιστοποιηθεί αυτό επηρεάσει την UVISEL VUV έχει διαμορφωθεί ως τρία ξεχωριστά διαμερίσματα? Τη λάμπα + πολωτή, ο θάλαμος του δείγματος, και η photoelastic διαμορφωτή + μονοχρωμάτορα φωτοπολλαπλασιαστών + σύστημα ανίχνευσης. Το διαμέρισμα του δείγματος έχει ξεχωριστή πρόσβαση και είναι εξοπλισμένο με το δικό του απομονωμένο σύστημα καθαρισμού του.

Αυτός ο σχεδιασμός παρέχει υψηλό βαθμό ευελιξίας και ευελιξία για το χειρισμό του δείγματος, και επιτρέπει την υψηλή απόδοση δείγματος.

Η UVISEL VUV ελέγχεται από την πλατφόρμα Deltapsi2 λογισμικό, και είναι ιδανικό για VUV λεπτό φιλμ για εφαρμογές απαιτητικές έρευνα και τη βιομηχανική τον έλεγχο της ποιότητας.

VUV Thin Film Εφαρμογές

VUV φασματοσκοπικές ελλειψομετρία εύρος εφαρμογών από τις μετρήσεις των οπτικών σταθερές και οπτική bandgap των υλικών που απορροφούν πολύ στο UV, όπως υλικά υψηλής k, οργανικά υλικά, stepper οπτική, φωτοευαίσθητα υλικά.

VUV φασματοσκοπική ελλειψομετρία παρέχει αυξημένη ακρίβεια για τη μέτρηση του πάχους των πολύ λεπτές στρώσεις και διασυνδέσεις. Αυτό είναι ιδιαίτερα χρήσιμο για νανοκλίμακα εφαρμογές όπου ο χαρακτηρισμός της ως μητρική του αζώτου, ένα πρόχειρο στρώμα πάνω ή μια διασύνδεση επηρεάζει την αποτελεσματικότητα της τελικής συσκευής.

Last Update: 3. October 2011 18:32

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit