Neue, Stärkere Analyse-Software für Dünnfilme von HORIBA Jobin Yvon

Published on October 21, 2008 at 12:58 AM

HORIBA Jobin Yvon, der führende Hersteller von spektralanalytischen ellipsometers für Forschung und Industrie, bietet eine hoch entwickelte Dünnfilmkennzeichnung Plattform Ruf-DeltaPsi2 an. Die Software trifft auf ellipsometry, Polarimetrie und Reflectometry und Bediengeräte alle Dünnfilm-Metrologieinstrumente HORIBA Jobin Yvon zu.

Software DeltaPsi2 stellt die hoch entwickelten Maße zur Verfügung und formt und berichtet über Fähigkeiten für genaue und flexible Kennzeichnung von Dünnfilmzellen.

Merkmale umfassen Berechnung von Stärken, von optischen Konstanten, von Steigungen, von Anisotrophie, von Legierungszusammensetzung, von bandgap Berechnung, von Oberflächenrauigkeit, von EMA, von Rückseitenkorrekturen, von multi kombinierten Maßen/von Analysedaten und mehr.

Sie integriert die größte Materialdatenbank von den Bezügen und von Streuungsbeziehungen, die für genaue Kennzeichnung von materiellen optischen Konstanten benötigt werden.

Neue Verbesserungen wurden auf automatische Formungsoperationen einschließlich automatische passende Prozeduren und Parameterization von Streuungsbeziehungen für Benutzerfreundlichkeit und Drehzahl der Analyse gerichtet. Sie enthält auch die spätesten Fortschritte in der Kennzeichnung von periodischen Zellen (1D, 2D Gitter).

Tolle ellipsometers wie das UT-300 und das FF-1000 und Inline--ellipsometers (die zum Beispiel Rolle, zum von Überwachungsgeräten zu rollen) angetrieben auch durch die Plattform der Software DeltaPsi2. Die Software umfaßt eine vollautomatische Betriebsumgebung und hoch entwickelten Kommunikationsprotokolle (RS232, TCP/IP) zur robusten Dünnfilmmetrologieregelung. Software DeltaPsi2 stellt standardisierte Sichtbarmachung des Abbildens von Ergebnissen auf Halbleiterwafer- und Glaspanels, statistische Analyse, hoch entwickelte Datenmanipulation, Import-/Exportverpackungsfunktion und der Wiederaufbereitung von Fähigkeiten zur Verfügung.

Vor Kurzem startete HORIBA Jobin Yvon den neuen Auto SE, ein vollautomatisches ellipsometer für Qualitätskontrolle von Dünnfilmen. Getrieben durch das neue Weiche Selbstanwendungspaket, das in der Plattform DeltaPsi2 umfaßt wird, ist diese neue innovative Software konstruiert worden, um einfache Operationen der ellipsometric Analyse ohne Kompromiss auf Datenqualität zur Verfügung zu stellen.

Last Update: 14. January 2012 18:08

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