Ny, Kraftigare AnalysProgramvara för Tunt Filmar från HORIBA Jobin Yvon

Published on October 21, 2008 at 12:58 AM

HORIBA Jobin Yvon, den ledande producenten av spectroscopic ellipsometers för forskning och bransch, erbjuder ett avancerat tunt filmar karakteriseringen plattformen kallad DeltaPsi2. Programvaran applicerar till ellipsometry, polarimetry och reflectometry och kontrollerar all HORIBA Jobin Yvon filmar thin metrology instrumenterar.

Programvara DeltaPsi2 ger avancerade mätningar som modellerar, och anmäla filmar kapaciteter för exakt och böjlig karakterisering av tunt strukturerar.

Särdrag inkluderar beräkning av tjocklekar, optiska konstanter, lutningar, anisotropy, legerar sammansättning, bandgapberäkning, ytbehandlar roughness, EMA, bakkorrigeringar, mång- kombinerade mätningar/analysdata och mer.

Den integrerar de största materialen som databas av hänvisar till och spridningförbindelse som krävs för exakt karakterisering av materiella optiska konstanter.

Nya förbättringar fokuserades på automatiska modellera automatiska passande tillvägagångssätt för funktioner däribland, och parameterization av spridningförbindelse för lindrar - av - bruk och rusar av analys. Den inkorporerar också de senaste framflyttningarna i karakteriseringen av periodiskt strukturerar (1D, 2D gallrar).

Fab ellipsometers liksom UTEN-300 och FFEN-1000, och i-fodrar ellipsometers (till exempel rulle som rullar övervakning, instrumenterar), är också drivande vid plattformen för programvara DeltaPsi2. Programvaran inkluderar en fullständigt automatisk fungeringsmiljö, och avancerade kommunikationsprotokoll (RS232, TCP/IP) för robustt tunt filmar metrology kontrollerar. Programvara DeltaPsi2 ger standardiserad visualization av att kartlägga resultat på halvledarerånet, och exponeringsglaspaneler, statistisk analys, avancerad databehandlig, import/export paketerar fungerar, och upparbetningen kapaciteter.

För en tid sedan lanserade HORIBA Jobin Yvon den nya AutomatiskSEN, en fullständigt automatisk ellipsometer för kvalitets- kontrollerar av tunt filmar. Drivande vid den nya Auto Mjuka programvaran paketera inklusive i plattformen DeltaPsi2, denna nya innovativa programvara har planlagts att ge lätta funktioner av ellipsometric analys med ingen kompromiss på kvalitets- data.

Last Update: 24. January 2012 01:58

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit